MEMSPCカフェ
第5回MEMSPC カフェの開催実績
- 日時
- 平成20年10月2日（木）
- 場所
- 宮城県仙台市 （東北大学片平さくらホール）
- スピーカー
- 東北大学 流体科学研究所 教授 寒川 誠二 氏
- テーマ
- 究極のトップダウン加工が拓く先端ナノデバイス
- 概要
- 反応性プラズマを究極まで制御した中性粒子ビーム技術を用いた超低損傷・超高精度微細加工技術によって実現できる寸法３２ｎｍレベル以降の先端ナノデバイスについて情報提供をいただき，その後，参加者で意見交換を行いました。
- 参加実績
- 62名
- 実施風景
- 実施案内
- 案内はこちらです