MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学 西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-305-2351
FAX: 022-305-2352
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MEMSPCカフェ

MEMSPC カフェのご案内
第5回 「MEMSPCカフェin SENDAI」のご案内

MEMSパークコンソーシアムでは,マイクロエレクトロニクスに関する最新技術や研究動向の発信と,会員企業の皆様のネットワーク構築につながる交流の場として,MEMSPCカフェを開催しております。

第5回目は,東北大学・流体科学研究所 教授 寒川誠二 様をゲストスピーカーに,「究極のトップダウン加工が拓く先端ナノデバイスに関する技術情報」を中心にお話をいただき,参加者の皆様と,意見交換・情報交換を行いたいと考えております。

ご興味のある方のご参加をお待ちしております。

主催:
MEMSパークコンソーシアム
日時:
平成20年10月2日(木) 17時00分 〜 19時45分
会場:
東北大学「片平さくらホール」2階会議室(東北大学片平キャンパス内)
http://www.tagen.tohoku.ac.jp/general/access/sakura-j.html
参加費:
会員 一口につき1名無料
非会員 一人 3,000円 (交流会費含む)
プログラム:
17時00分
開会の挨拶   竹井 裕 MEMSパークコンソーシアム事務局長
17時00分〜
情報提供・意見交換・情報交換東北大学・流体科学研究所 教授 寒川 誠二 氏
テーマ:究極のトップダウン加工が拓く先端ナノデバイス

反応性プラズマを究極まで制御した中性粒子ビーム技術を用いた超低損傷・超高精度微細加工技術によって実現できる寸法32nmレベル以降の先端ナノデバイスについて紹介します。

18時00分〜/ 交流会
19時45分 / 閉会

申込方法:
「申込書」に所定の事項をご記入いただき,E-mailまたはFAXで下記までお送りください。
お申し込み
お問合わせ:
MEMSパークコンソーシアム事務局(江藤)
TEL:022-795-4263 FAX:022-795-6259
E-mail: