技術実績
MEMS技術の導入事例
これまでに、ＭＥＭＳ技術により、飛躍的に機能が強化されたものの、あらたな市場を開拓したものについて紹介いたします。ＭＥＭＳパークコンソーシアムでは、こうした製品化・事業化を実現するため、今後より発展的な取り組みを行います。
トキメック |
日本信号(株) |
キヤノンアネルバテクニクス シリコンダイアフラムを用いた静電容量型隔離真空計。小型・低価格・高感度・高再現性を実現。 |
メムス･コア 複合気体センサ PN接合ダイオードを用いた複合気体センサ。高感度・高応答で温度・湿度・圧力を検知することが可能。 |
東北セミコンダクタ 加速度センサ 静電容量型の2軸加速度センサ。車の衝突検知を小型かつ低コストで実現し、安全性の向上に貢献している。 |