MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学 西澤潤一記念研究センター内
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技術実績

MEMS技術の導入事例

これまでに、MEMS技術により、飛躍的に機能が強化されたものの、あらたな市場を開拓したものについて紹介いたします。MEMSパークコンソーシアムでは、こうした製品化・事業化を実現するため、今後より発展的な取り組みを行います。

マルチ出力マイクロ慣性センサ

トキメック
マルチ出力マイクロ慣性センサ

世界初のMEMS静電浮上回転型ジャイロ。2方向の角速度、3方向の加速度を1つのデバイスで計測できる。
MEMS光スキャナ”ECOSCAN”

日本信号(株)
MEMS光スキャナ“ECOSCAN”

電磁駆動型のMEMS光スキャナ。小型軽量化により、 高速動作・静粛性・低消費電力を実現。
キヤノンアネルバテクニクス

キヤノンアネルバテクニクス

シリコンダイアフラムを用いた静電容量型隔離真空計。小型・低価格・高感度・高再現性を実現。
複合気体センサ

メムス・コア 複合気体センサ

PN接合ダイオードを用いた複合気体センサ。高感度・高応答で温度・湿度・圧力を検知することが可能。
東北セミコンダクタ 加速度センサ

東北セミコンダクタ 加速度センサ

静電容量型の2軸加速度センサ。車の衝突検知を小型かつ低コストで実現し、安全性の向上に貢献している。