公開セミナー
第21回MEMS集中講義 in 北九州
東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に学習できます。21回目となる今回は公益財団法人北九州産業学術推進機構（FAIS）と協力して北九州で行います。参加費は無料です。お手数ですが、事前のお申し込みをお願いいたします。昨年と同様、現地開催とネット配信のハイブリッドで開催しますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場として活用ください。2日目の夕方に交流会も企画しています。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。皆様と北九州でお会いできることを楽しみにしております。
- 日時：
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第21回MEMS集中講義
2023年8月8日（火)～10日(木)懇親会 8月9日(火) 17:30～19：00(場所などの詳細は未定)
- 場所：
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北九州産業学術推進機構（FAIS）会議場
北九州市若松区ひびきの2番1号 北九州学術研究都市
https://www.ksrp.or.jp/fais/info/access.html
https://www.ksrp.or.jp/access/index.html
https://www.ksrp.or.jp/access/floor07.html
- 主催：
- 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、公益財団法人北九州産業学術推進機構（FAIS）
- 共催：
- 東北大学ナノテク融合技術支援センター、東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
- 参加費
- 参加無料
- 交流会：
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8月9日(火) 17:30～19：00(場所などの詳細は未定)
- 配信：
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3日間すべてYouTube配信予定
- 参加費：
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参加無料
- 講義資料：
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冊子は配布せず、準備が整い次第、こちらのページからダウンロードできるようにいたします。事前に印刷いただくか、ノートPCやタブレットをご持参ください。会場の座席にはコンセントはありませんが、テーブルタップをいくつか用意いたしますので、休憩時間中などでの充電にご利用ください。
- お申込みフォーム：
- お申込みの注意：
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お申込みの期限は設けませんが、見学準備等のため7月10日ころまでにお申し込みいただけると有難いです。
- 問い合わせ先：
- 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
齋藤 哲郎 E-mail：ｔ-saitoh/at/tohoku.jp
小林みゆきE-mail：miyuki.kobayashi.c2/at/tohoku.ac.jp
※メールをご送信の際は、「/at/」を@に修正してください
※講演資料のダウンロードについては、こちらへアクセスしてください。
| 【 プログラム】 |
| 【講師】（五十音順）小野崇人、金森義明 、 鈴木裕輝夫、田中秀治 、塚本貴城、戸津健太郎、芳賀洋一、日暮栄治 |
| 【8月8日(火)】 |
| 8:30受付開始 9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜)[戸津健太郎（東北大学）] 13:00-15:00 マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境[戸津健太郎（東北大学)] 15:10-17:00 北九州産業学術推進機構（FAIS）活動紹介、施設見学 |
| 【8月9日(水)】 |
| 8:30受付開始 10:40-12:10 IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、 マイクロミラーデバイス) [田中秀治(東北大)] 13:00-14:30 MEMSの新しい話題 [田中秀治(東北大)] 14:40-15:30 カーボンニュートラル・バイオ応用に向けたメタマテリアル [金森義明(東北大)] 15:40-17:10 MEMS慣性センサ（加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ） [塚本貴城(東北大)] 17:30-19:00 交流会 |
| 【8月10日(木)】 |
| 8:30受付開始 9:00-12:30 製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人(東北大)] 13:30-15:00 異種材料集積技術の進展とセンサ・MEMS応用 [日暮栄治(東北大)] 15:10-16:40 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一(東北大)] |
※講演資料のダウンロードについては、こちらへアクセスしてください。
【問い合わせ先】
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
TEL：022-229-4113
齋藤 哲郎
E-mail: t-saitoh/at/tohoku.ac.jp
小林 みゆき
E-mail：miyuki.kobayashi.c2/at/tohoku.ac.jp
※メールをご送信の際は、「/at/」を@に修正してください。