MEMSパークコンソーシアム

MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学　西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-229-4113

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公開セミナー

第21回MEMS集中講義 in 北九州

東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に学習できます。21回目となる今回は公益財団法人北九州産業学術推進機構（FAIS）と協力して北九州で行います。参加費は無料です。お手数ですが、事前のお申し込みをお願いいたします。昨年と同様、現地開催とネット配信のハイブリッドで開催しますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場として活用ください。2日目の夕方に交流会も企画しています。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。皆様と北九州でお会いできることを楽しみにしております。

日時：

第21回MEMS集中講義
2023年8月8日（火)～10日(木)

懇親会　8月9日(火) 17:30～19：00(場所などの詳細は未定)

場所：

北九州産業学術推進機構（FAIS）会議場
北九州市若松区ひびきの2番1号　北九州学術研究都市
https://www.ksrp.or.jp/fais/info/access.html
https://www.ksrp.or.jp/access/index.html　
https://www.ksrp.or.jp/access/floor07.html

主催：

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、公益財団法人北九州産業学術推進機構（FAIS）

共催：

東北大学ナノテク融合技術支援センター、東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター

参加費

　参加無料

交流会：

8月9日(火) 17:30～19：00(場所などの詳細は未定)

配信：

3日間すべてYouTube配信予定

参加費：

参加無料

講義資料：

冊子は配布せず、準備が整い次第、こちらのページからダウンロードできるようにいたします。事前に印刷いただくか、ノートPCやタブレットをご持参ください。会場の座席にはコンセントはありませんが、テーブルタップをいくつか用意いたしますので、休憩時間中などでの充電にご利用ください。

ポスター展示：

会場で展示しているポスターについて、一部をオンラインでご覧になれます。講義資料の下のポスター資料をDLしてご利用ください。

お申込みフォーム：

お申込みはこちらから
(Googleフォームを使用しております。)

お申込みの注意：

お申込みの期限は設けませんが、見学準備等のため7月10日ころまでにお申し込みいただけると有難いです。

問い合わせ先：

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
齋藤哲郎 E-mail：ｔ-saitoh@tohoku.jp Tel. 022-229-4113

【プログラム】

【講師】（五十音順）小野崇人、金森義明　、鈴木裕輝夫、田中秀治、塚本貴城、戸津健太郎、芳賀洋一、日暮栄治

【8月8日(火)】　

8:30受付開始
9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜)[戸津健太郎（東北大学）]

13:00-15:00　マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境[戸津健太郎（東北大学)]

15:10-17:00　北九州産業学術推進機構（FAIS）活動紹介、施設見学

【8月9日(水)】　　

8:30受付開始
9:00-10:30　マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術 [鈴木裕輝夫(東北大)]

10:40-12:10　IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治(東北大)]

13:00-14:30　MEMSの新しい話題 [田中秀治(東北大)]

14:40-15:30　カーボンニュートラル・バイオ応用に向けたメタマテリアル [金森義明(東北大)]

15:40-17:10　MEMS慣性センサ（加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ） [塚本貴城(東北大)]　

17:30-19:00　交流会

【8月10日(木)】　　

8:30受付開始
9:00-12:30　製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人(東北大)]

13:30-15:00　異種材料集積技術の進展とセンサ・MEMS応用 [日暮栄治(東北大)]

15:10-16:40　医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一(東北大)]

※講演資料は準備が整い次第、ダウンロードできるようにいたします。

戸津健太郎（東北大学）
「マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜)」
資料ダウンロード(43M)

戸津健太郎（東北大学）
「マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境」
資料ダウンロード(36M）

鈴木裕輝夫(東北大学」
「マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術」
資料ダウンロード(12M)

田中秀治(東北大学)
「IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) 」
「MEMSの新しい話題」
資料ダウンロード（38M+5M）

金森義明(東北大学)
「カーボンニュートラル・バイオ応用に向けたメタマテリアル」
資料ダウンロード(37M）

塚本貴城(東北大学)
「MEMS慣性センサ（加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ）」
資料ダウンロード(準備中）

小野崇人（東北大学）
「製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス」
資料ダウンロード(準備中）

日暮栄治(東北大学）
「異種材料集積技術の進展とセンサ・MEMS応用」
資料ダウンロード(準備中）

芳賀洋一(東北大学）
「医療・ヘルスケア(健康管理)応用）」
資料ダウンロード(59M）