公開セミナー
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
マイクロシステム融合研究会（第3回）
開催報告 （MEMSパークコンソーシアム公開セミナー）
- 日時：
- 1月14日（金）
10:40〜12:00 見学会（西澤潤一記念研究センター）
13:00〜17:00 研究会 - 主催：
- 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）、産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター（UMEMUSUME）、MEMSパークコンソーシアム
- 会場：
- 東北大学 青葉記念会館大研修室401室
- 講演者：
- 東北大学原子分子材料科学高等研究機構
教授 末永 智一東北大学大学院工学研究科准教授 遠藤 恭独立行政法人情報通信研究機構（NICT） 新世代ワイヤレス研究センター専攻研究員 松村 武東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター助教 三輪 和弘産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター ヘテロ融合研究チーム
主任研究員 井上 朋也産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター 大規模インテグレーション研究チーム
研究員 栗原 一真東北大学原子分子材料科学高等研究機構教授 江刺 正喜産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門 先端シリコンデバイスグループ主任研究員 遠藤 和彦技術研究組合極端紫外線露光システム技術開発機構（EUVA）本部・総務部長兼主幹研究員 岡崎 信次 - 概要：
- 昨年3/30に、「マイクロシステム融合開発拠点」及び「最先端研究開発支援プログラム」を実施する組織として発足した東北大学マイクロシステム融合研究開発センターにおける第3回研究会。研究プログラムである「マイクロシステム融合研究開発拠点」及び「最先端研究開発支援プログラム」の内容について、各研究プログラムの核となる東北大学や産総研の先生方より今後の研究開発の方向性についてご講演を頂いた。
また、技術研究組合極端紫外線露光システム技術開発機構（EUVA） 本部・総務部長兼主幹研究員 岡崎 信次氏より、「リソグラフィ技術の現状と今後の展開」と題し、最新リソグラフィについて特別講演を頂いた。 - 参加実績：
- 60名
- 実施案内:
- 案内はこちらです
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