公開セミナー
第3回マイクロシステム融合研究会
- 日時：
- 平成23年1月14日（金） 13:00〜17:00
- 場所：
- 東北大学 青葉記念会館大研修室401室
(機械系講義棟2F 機械系第３講義室から変更になりました)
http://www.eng.tohoku.ac.jp/map/?menu=campus&area=c&build=03 - 主催：
- 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）、産総研集積マイクロシステム研究センター（UMEMUSUME）、MEMSパークコンソーシアム
- 参加費：
- 無料（当日参加可）
- 概要：
- 「マイクロシステム融合研究開発拠点」と「最先端研究開発支援プログラム」を実施する組織として発足した「マイクロシステム融合研究開発センター (μSIC)」の、第3回研究会です。今回は岡崎信次氏 (EUVA)に特別講演をお願いし、最新リソグラフィの話を議論させて頂きます。ご参加をお待ちしております。
なお同日午前10:40-12:00に、4/6インチ試作ラインを企業の方にお使いいただいます「試作コインランドリ」のある、西澤記念研究センター(旧半導体研究所)(Tel. 229-4113)の見学会を計画しております。 - プログラム：
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13:00-13:20
末永 智一
「超高感度多点電流検出型バイオLSIの開発 − 医療診断機器，バイオ計測機器への利用を目指して−」13:20-13:40
遠藤 恭
「高周波電磁ノイズ計測装置の開発」13:40-14:00
松村 武
「オンチップマルチバンドフィルタ」(仮題)14:00-14:20
三輪 和弘
「MEMS試作コインランドリ」(仮題)14:20-14:40
井上 朋也 (産総研)
「過酸化水素発生マイクロ流体デバイスの開発」14:40-15:00
栗原 一真 (産総研)
休憩
「大面積ナノ構造によるMEMS光学デバイスの開発」
15:10-15:30
江刺 正喜
「超並列電子線描画装置」15:30-16:00
遠藤 和彦
(産総研) 「立体ダブルゲートMOSデバイスの開発と回路応用」 特別講演16:00-17:00
岡崎信次
(EUVA) 「リソグラフィ技術の現状と今後の展開」 特別講演
終了後に簡単な懇親会 (参加費2000円)を予定しております。 - 問合先：
- 東北大学 江刺・田中研究室 大賀理佐
Tel.022-795-6936, Fax 022-795-6935
E-mail oga@mems.mech.tohoku.ac.jp