MEMSパークコンソーシアム事務局

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MEMSPCカフェ

第6回MEMSPC カフェの開催実績

日時
平成20年10月31日(金)
場所
宮城県仙台市 (フレンチレストラン-ル・シエル-)
スピーカー
株式会社 フォトニックラティス
浜松ホトニクス 株式会社
テーマ
① 光エレクトロニクス市場で実用化が進む自己クローニング・フォトニック結晶技術とその応用製品
② 半導体量産工程での実用化が進む,完全ドライレーザダイシング〜ステルスダイシング技術〜
概要
両社から,次のとおり情報提供をいただき,その後,参加者で意見交換を行いました。
① 面型光学素子として機能する自己クローニング・フォトニック結晶は,耐熱/耐光性に優れ,また,数μmサイズのセルからなる非常にユニークな複合光学素子を容易に作製できることなどから注目され,最近光エレクトロニクス市場の様々な領域で,急速に実用化が進んでいます。本稿では,その技術および応用製品について,紹介いただきました。
② ステルスダイシングとは,既存のウエハーダイシング工程の課題を克服した全く新しいレーザダイシング技術です。洗浄水や冷却水の不要な完全ドライプロセス化を実現。さらに切りシロがゼロであるため,チップの収率は極限まで高められます。本講では,その原理や特徴を紹介し,各種デバイス向けに応用事例について,紹介いただきました
参加実績
42名
実施風景
カフェ報告写真
実施案内
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