MEMSパークコンソーシアム事務局
東北大学 西澤潤一記念研究センター内
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MEMSPCカフェ
第6回MEMSPC カフェの開催実績
- 日時
- 平成20年10月31日(金)
- 場所
- 宮城県仙台市 (フレンチレストラン-ル・シエル-)
- スピーカー
- ① 株式会社 フォトニックラティス
② 浜松ホトニクス 株式会社
- テーマ
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① 光エレクトロニクス市場で実用化が進む自己クローニング・フォトニック結晶技術とその応用製品
② 半導体量産工程での実用化が進む,完全ドライレーザダイシング〜ステルスダイシング技術〜
- 概要
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両社から,次のとおり情報提供をいただき,その後,参加者で意見交換を行いました。
① 面型光学素子として機能する自己クローニング・フォトニック結晶は,耐熱/耐光性に優れ,また,数μmサイズのセルからなる非常にユニークな複合光学素子を容易に作製できることなどから注目され,最近光エレクトロニクス市場の様々な領域で,急速に実用化が進んでいます。本稿では,その技術および応用製品について,紹介いただきました。
② ステルスダイシングとは,既存のウエハーダイシング工程の課題を克服した全く新しいレーザダイシング技術です。洗浄水や冷却水の不要な完全ドライプロセス化を実現。さらに切りシロがゼロであるため,チップの収率は極限まで高められます。本講では,その原理や特徴を紹介し,各種デバイス向けに応用事例について,紹介いただきました
- 参加実績
- 42名
- 実施風景
- 実施案内
- 案内はこちらです