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MEMSパークコンソーシアム事務局

MEMSPCカフェ

第2回MEMSPC カフェの開催実績

日時

平成20年5月30日（金）

場所

東京都千代田区　（東北大学東京分室）

スピーカー

ウシオ電機 株式会社

テーマ

ウシオ電機 株式会社に関する技術情報の提供

概要

MEMS用露光装置（マスクアライナー）のラインナップ及び露光要素技術，エキシマランプを利用した接着・洗浄他MEMSアプリケーションに関する情報提供をいただき，その後，参加者で意見交換を行いました。

参加実績

31名

実施風景

実施案内

案内はこちらです