MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学 西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
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公開セミナー

第22回MEMS集中講義 in 仙台

東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に学習できます。22回目となる今年は8月21日~23日に仙台で行います。参加費は無料です。お手数ですが、事前のお申し込みをお願いいたします。昨年と同様、現地開催とネット配信のハイブリッドで開催しますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場として活用ください。2日目の夕方に交流会も企画しています。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。また前日の8月20日午後には西澤センター(東北大学試作コインランドリ)の見学会を開催いたします。皆様とお会いできることを楽しみにしております。

日時:

第22回MEMS集中講義
2024年8月21日(水)~23日(金)

交流会 8月22日(木)

前日の8月20日(火)午後に西澤センター(東北大学試作コインランドリ)の見学会を開催いたします。

場所:

東北大学環境科学研究科 本館  2階 大講義室
仙台市青葉区荒巻字青葉468-1 (下のアクセスマップ:J22建物)
青葉山キャンパス(Jエリア)

主催:
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
共催:
東北大学ナノテク融合技術支援センター、東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
参加費
 参加無料
交流会:

交流会 8月22日(木) 18:00~19:30                    参加費4,500円 会場 Buddy's Table (アクセスマップ:J12建物)

ホームページ Buddy's Table

配信:

3日間すべてYouTube配信予定

講義資料:

冊子は配布せず、準備が整い次第、こちらのページからダウンロードできるようにいたします。事前に印刷いただくか、ノートPCやタブレットをご持参ください。会場の座席にはコンセントはありませんが、テーブルタップをいくつか用意いたしますので、休憩時間中などでの充電にご利用ください。

お申込みフォーム:

お申込みはこちらから
(Googleフォームを使用しております。)

お申込みの注意:

お申込みの期限は設けませんが、見学準備等のため早めにお申し込みいただけると有難いです。

問い合わせ先:
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
齋藤 哲郎 E-mail:t-saitoh(at)tohoku.jp
小林みゆき E-mail:miyuki.kobayashi.c2(at)tohoku.ac.jp
                  (at)を@に置き換えて下さい
                              
【 第22回MEMS集中講義プログラム】
【講師】(五十音順)小野崇人、金森義明、 鈴木裕輝夫、田中秀治、塚本貴城、戸津健太郎、芳賀洋一、日暮栄治、矢代航
  【8月21日(水)】 
9:00受付開始
9:30-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜)[戸津健太郎(東北大学)]

13:00-16:00 マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境)[戸津健太郎(東北大学)]

16:10-18:00 マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術 [鈴木裕輝夫(東北大)]
 【8月22日(木)】  
8:30受付開始 
9:00-10:30  IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治(東北大)]

10:40-12:10 MEMSの新しい話題 [田中秀治(東北大)]

13:00-15:00 加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ [塚本貴城(東北大)]

15:10-16:00 6G・ロボティックス応用に向けたメタマテリアル [金森義明(東北大)]

15:10-17:40 MEMS技術の量子ビーム光学素子への応用と3 GeV高輝度放射光施設NanoTerasuでの活用例[矢代航(東北大)]

18:00-19:30 交流会 (参加費4,500円 会場 Buddy's Table)
 【8月23日(金)】  
8:30受付開始
9:00-12:30 製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人(東北大)]

13:30-15:00 異種材料集積技術の進展とセンサ・MEMS応用 [日暮栄治(東北大)]

15:10-16:40 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一(東北大)]

※講演資料は準備が整い次第、ダウンロードできるようにいたします。

【問い合わせ先】

MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
                  (代表電話)022-229-4113 
齋藤 哲郎 E-mail: t-saitoh(at)tohoku.ac.jp
小林みゆき E-mail:.miyuki.kobayashi.c2(at)tohoku.ac.jp
                    ※(at)を@に置き換えて下さい