第33回マイクロシステム融合研究会
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター・MEMSパークコンソーシアム主催の「第33回マイクロシステム融合研究会」をオンラインにて開催いたします。MEMSの中心的な加工技術である「リソグラフィ、および3Dパターニング等の応用」について、ご講演いただきます。皆様ぜひご参加ください。
- 【第33回マイクロシステム融合研究会】
- 日時：
- 202３年3月24日(金) 1３：00～17：３0
- 開催方法：
- オンライン (Zoom)
- 主催：
- 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
- 申込みフォーム：
- 問い合わせ先：
-
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
庄子 留美子
E-mail:rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp
TEL:022-305-2351
| 【プログラム】 2023年3月24日(金) |
| 1３：00～1３：４0 「ステッパ開発の歴史とレジスト材料」 |
| 1３：４0～14：２0 渡邉 陽司（ニコン） 「DUV光マスクレス露光機の開発」 |
| 14:20～15：00 花城 秀明（ミカサ）・楠田 達文(写真化学)「膜厚リアルタイム測定機能付スピンコータ」 |
| 休憩 |
| 15：10～15：50 平井 義和（京都大学）「3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築」 |
| 15：50～16：30 竹田 宣生（ボールウェーブ）「球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造と超小型ボールSAWガスクロマトグラフ」 |
| 16：30～17：10 佐々木 実（豊田工業大学）「立体サンプルの三次元フォトリソグラフィ加工」 |
| 17：10～17：30 戸津 健太郎（東北大学）「試作コインランドリにおけるデータ収集、登録について（文科省ARIMプロジェクト関係）」 |
【問い合わせ先】
MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 西澤潤一記念研究センター内
TEL：022-305-2351 FAX：022-229-4116
E-mail: memspc@mu-sic.tohoku.ac.jp
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 西澤潤一記念研究センター内
TEL：022-305-2351 FAX：022-229-4116
E-mail: memspc@mu-sic.tohoku.ac.jp