MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学　西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-305-2351
FAX: 022-229-4116
HOME　>　公開セミナー >　第33回マイクロシステム融合研究会（オンライン)

第33回マイクロシステム融合研究会

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター・MEMSパークコンソーシアム主催の「第33回マイクロシステム融合研究会」をオンラインにて開催いたしました。MEMSの中心的な加工技術である「リソグラフィ、3Dパターニングと応用」についてご講演いただき、沢山の皆様にご参加いただきました。皆様、心より感謝申し上げます。
【第33回マイクロシステム融合研究会】
日時：
202３年3月24日(金)　1３：00～17：３0
開催方法：
オンライン (Zoom)
主催：
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
：参加者数

120名

【プログラム】 2023年3月24日(金)
1３：00～1３：４0 　　関口 淳（リソテックジャパン）「ステッパ開発の歴史とレジスト材料」
1３：４0～14：２0 　 渡邉 陽司（ニコン）　「DUV光マスクレス露光機の開発」
 14：20～15：00　　　花城 秀明（ミカサ）・楠田 達文(写真化学)　「膜厚リアルタイム測定機能付スピンコータ」
休憩
15：10～15：50　　　平井 義和（京都大学）　「3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築」
15：50～16：30　　　竹田 宣生（ボールウェーブ）「球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造と超小型ボールSAWガスクロマトグラフ」
16：30～17：10　佐々木 実（豊田工業大学）「立体サンプルの三次元フォトリソグラフィ加工」
17：10～17：30　戸津 健太郎（東北大学）「試作コインランドリにおけるデータ収集、登録について（文科省ARIMプロジェクト関係）」

　※講演資料は、下記よりダウンロード（公開可能な資料のみ）できます。
関口 淳（リソテックジャパン）
「ステッパ開発の歴史とレジスト材料」
資料ダウンロード(2.55MB)
花城 秀明（ミカサ）・楠田 達文(写真化学)
「膜厚リアルタイム測定機能付スピンコータ）」
資料ダウンロード(3.11MB)
平井 義和（京都大学）
「3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築」
資料ダウンロード(4.82MB)
竹田 宣生（ボールウェーブ）
「球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造と超小型ボール
SAWガスクロマトグラフ」
資料ダウンロード(5.98MB)
佐々木 実（豊田工業大学）
「立体サンプルの三次元フォトリソグラフィ加工」
資料ダウンロード(466.67KB)
戸津 健太郎（東北大学）
「試作コインランドリにおけるデータ収集、登録について（文科省ARIMプロジェクト関係）」
資料ダウンロード(1.13MB)

【問い合わせ先】

MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-0845　仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 西澤潤一記念研究センター内
TEL：022-305-2351　　　FAX：022-229-4116
E-mail:　memspc@mu-sic.tohoku.ac.jp
↑このページのトップに戻る