公開セミナー
MEMS集中講義 in 高松
東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に収集できます。20回目となる今回は香川大学と協力して高松で行います。香川大学と東北大学は、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）において、筑波大学、豊田工業大学とともに「高度デバイス」という同一の重要技術領域に属し、MEMSなどのデバイスに関する研究開発支援を協力して推進しています。今回の集中講義はその活動の一環でもあり、初めての四国開催となります。今回は3年ぶりに現地会場での開催です。講義はネット配信もしますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場としても活用いただければ幸いです。例年通り参加費は無料です。コロナ対策のこともあり、事前のお申し込み（一次締め切り：7月8日）をお願いいたします。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。皆様と高松でお会いできるのを楽しみにしております。
※２日目の夜に企画していた懇親会ですが、中止とさせていただきます。新型コロナウイルスの急速な感染拡大に対して、主催関係者で慎重に議論したものです。大変残念ですが、ご理解を賜りますようお願い申し上げます。
- 日時：
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MEMS集中講義
2022年8月8日（月)～10日(水)受付開始 8時30分 開始 9時
懇親会 8月9日(火) 18:00～20：00(場所などの詳細は未定)
- 場所：
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8日(月)・9日(火) かがわ国際会議場(高松シンボルタワー6階）
https://www.symboltower.com/access/
JR高松駅より徒歩3分
- 場所：
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10日(水) 香川大学 林町キャンパス 創造工学部3101教室
(3号館1階)
https://www.kagawa-u.ac.jp/access/hayashi/
- アクセス：
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10日(水) 香川大学 林町キャンパス 創造工学部3101教室
(3号館1階)
https://www.kagawa-u.ac.jp/20733/
- 配信：
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3日間すべてYouTube配信 (アーカイブ配信あり)
※配信用URLはお申込みいただいた方に、後日メールにてご連絡します。 - 参加費：
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参加無料
- 注意事項：
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現地受付で体温のチェックをしますが、体温が37.5℃を超えている場合には入室できませんのでご注意下さい。
- 懇親会の中止：
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全国の的にコロナ流行の「第７波」が本格化し、コロナ感染が厳しい状況となっております。その状況を鑑みまして、懇親会は中止とさせていただきます。ご了承ください。
- 講義資料：
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冊子は配布せず、8月4日(木)頃、こちらのページからダウンロードできるようにいたします。事前に印刷いただくか、ノートPCやタブレットをご持参ください。会場の座席にはコンセントはありませんが、テーブルタップをいくつか用意いたしますので、休憩時間中などでの充電にご利用ください。
- お申込みフォーム：
- 申込み一次締切：
- ２０２２年７月８日(金)
- 問い合わせ先：
- 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
齋藤 哲郎 E-mail：ｔ-saitoh@tohoku.jp Tel. 022-229-4113
- 主催：
- 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、香川大学微細構造デバイス統合研究センター
- 共催：
- 東北大学ナノテク融合技術支援センター、東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
| 【 プログラム】 |
| 【講師】（五十音順）小野崇人、金森義明 、下川房男、 鈴木裕輝夫、高尾英邦、田中秀治 、寺尾京平、塚本貴城、戸津健太郎、芳賀洋一、日暮栄治 |
| 【8月8日(月)】 場所：かがわ国際会議場 |
| 8:30受付開始 9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜)[戸津健太郎（東北大学）] 13:00-15:00 マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境[戸津健太郎（東北大学)] 15:10-16:40 集積化MEMS,マイクロアクチュエータ 圧電薄膜プロセスと応用［鈴木裕輝夫(東北大学)] 16:40-17:40 香川大学研究紹介：シリコン集積化MEMS技術と触覚センシングへの展開 [（高尾英邦(香川大学)] |
| 【8月9日(火)】 場所：かがわ国際会議場 |
| 8:30受付開始 9:00-10:30 家電・IT・自動車応用 [田中秀治（東北大学)] 10:40-12:00 MEMSの新しい話題 [田中秀治（東北大学)] 13:00-14:30 MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城（東北大学)] 14：40-15：30 Beyond 5G/6Gに向けたメタマテリアル [金森義明（東北大学)] 15:30-16:20 ＭＥＭＳ実装・パッケージング技術 [日暮栄治（東北大学)] 16:30-17:30 香川大学研究紹介：微細構造デバイスによる細胞・分子マニピュレーション [寺尾京平（香川大学)]
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| 【8月10日(水)】 場所：香川大学 林町キャンパス 創造工学部3101教室(3号館1階) |
| 8:30受付開始 9:00-12:30 製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス小野崇人［（東北大学)] 13：:30-15:00 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一（東北大学)] 15:10-16：:00 香川大学研究紹介：農業センサプラットフォームの実現に向けた MEMS 型維管束センサの開発試作 [下川房男（香川大学)] 16：00-17:00 香川大学、FROM香川(かがわ産業支援財団) 微細加工施設見学 ※FROM香川の施設見学は遠隔モニタを利用する予定です。 |
～8/10終了後の交通手段について～
飛行機：２０時前後初の羽田行きの２便に間に合います。
新幹線：JR高松駅に19：00位までに移動すると、高松・岡山を繋ぐマリンライナー(約１時間と新幹線(３時間)でその日のうちに東京まで帰れます。
【会場へのアクセス】
■8日、9日かがわ国際会議場（高松シンボルタワー6階）〒760-0019 香川県高松市サンポート2-1
（引用元：https://www.symboltower.com/access/)
■10日 香川大学 林町キャンパス 創造工学部3101教室 (３号館1階)
〒761-0301 香川県高松市林町2217-20
【バスのご案内】
高松築港駅(電車乗車):8:15～瓦町(電車乗車):8:19
伏石駅(電車降車):8:26
乗り換え
伏石駅(バス乗車):8:34
香川大学創造工学部前(バス降車):8:43
◆香川県大学 林町キャンパス 創造工学部までのアクセス詳細は
こちらからダウンロードできます。
【問い合わせ先】
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
齋藤 哲郎 TEL：022-229-4113
E-mail: E-mail: t-saitoh@tohoku.ac.jp