MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学 西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-229-4113
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公開セミナー

MEMS集中講義 in 高松

東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に収集できます。20回目となる今回は香川大学と協力して高松で行いました。香川大学と東北大学は、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)において、筑波大学、豊田工業大学とともに「高度デバイス」という同一の重要技術領域に属し、MEMSなどのデバイスに関する研究開発支援を協力して推進しています。今回の集中講義はその活動の一環でもあり、初めての四国開催です。今回は3年ぶりに現地会場での開催となりました。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。
今回も多数の方々にお申込みいただき、誠にありがとうございました。 

※2日目の夜に企画していた懇親会ですが、中止とさせていただきました。新型コロナウイルスの急速な感染拡大に対して、主催関係者で慎重に議論したものです。大変残念ですが、ご理解を賜りますようお願い申し上げます。

日時:

MEMS集中講義
2022年8月8日(月)~10日(水)

受付開始 8時30分 開始 9時

場所:

8日(月)・9日(火) かがわ国際会議場(高松シンボルタワー6階)
https://www.symboltower.com/access/ 
JR高松駅より徒歩3分

場所:

10日(水) 香川大学 林町キャンパス 創造工学部3301教室
(3号館3階)
https://www.kagawa-u.ac.jp/access/hayashi/

アクセス:

10日(水) 香川大学 林町キャンパス 創造工学部3301教室
(3号館3階)
https://www.kagawa-u.ac.jp/20733/

配信:

3日間すべてYouTube配信 (アーカイブ配信あり)
※配信用URLはお申込みいただいた方に、メールにてご連絡します。

参加費:

参加無料

注意事項:

現地受付で体温のチェックをしますが、体温が37.5℃を超えている場合には入室できませんのでご注意下さい。

懇親会の中止:

全国的にコロナ流行の「第7波」が本格化し、コロナ感染が厳しい状況となっております。その状況を鑑みまして、懇親会は中止とさせていただきました。

講義資料:

冊子は配布せず、こちらのページからダウンロードできるようにいたします。事前に印刷いただくか、ノートPCやタブレットをご持参ください。会場の座席にはコンセントはありませんが、テーブルタップをいくつか用意いたしますので、休憩時間中などでの充電にご利用ください。

お申込みフォーム:

お申込みはこちらから
(Googleフォームを使用しております。)

申込み一次締切:
2022年7月8日(金)


問い合わせ先:
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
齋藤 哲郎
E-mail:t-saitoh@tohoku.jp Tel. 022-229-4113
主催:
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、香川大学微細構造デバイス統合研究センター
共催:
東北大学ナノテク融合技術支援センター、東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
参加者数:
298名

【 プログラム】
【講師】(五十音順)小野崇人、金森義明 、下川房男、 鈴木裕輝夫、高尾英邦、田中秀治 、寺尾京平、塚本貴城、戸津健太郎、芳賀洋一、日暮栄治
  【8月8日(月)】 場所:かがわ国際会議場
8:30受付開始

9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜) [戸津健太郎(東北大学)]

13:00-15:00 マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、表面マイクロマシニング、集積化、パッケージング、評価、試作環境)[戸津健太郎(東北大学)]

15:10-16:40 集積化MEMS,マイクロアクチュエータ 圧電薄膜プロセスと応用[鈴木裕輝夫(東北大学)]

16:40-17:40 香川大学研究紹介:シリコン集積化MEMS技術と触覚センシングへの展開
 
[(高尾英邦(香川大学)]
 【8月9日(火)】  場所:かがわ国際会議場
8:30受付開始 

9:00-10:30 家電・IT・自動車応用 [田中秀治(東北大学)]

10:40-12:00 新しいMEMSの話題 [田中秀治(東北大学)]

13:00-14:30 MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城(東北大学)]

14:40-15:30 Beyond 5G/6Gに向けたメタマテリアル [金森義明(東北大学)]

15:30-16:20 MEMS実装・パッケージング技術 [日暮栄治(東北大学)]  

16:30-17:30  香川大学研究紹介:微細構造デバイスによる細胞・分子マニピュレーション [寺尾京平(香川大学)]

※企画していた懇親会ですが、中止とさせていただきます。
 【8月10日(水)】  場所:香川大学 林町キャンパス 創造工学部3301教室(3号館3階)
8:30受付開始

9:00-12:30  1. 製造検査と環境・安全 2. ナノマシニング&ナノプロセス応用(高感度センサ、熱発電・蓄電、各種スマート材料のマイクロシステム応用)[小野崇人(東北大学)]

13::30-15:00 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一(東北大学)]

15:10-16::00 香川大学研究紹介:農業センサプラットフォームの実現に向けた MEMS 型維管束センサの開発 [下川房男(香川大学)]

16:00-17:00 香川大学、FROM香川(かがわ産業支援財団)  微細加工施設見学
         ※FROM香川の施設見学は遠隔モニタを利用する予定です。

~8/10終了後の交通手段について~
飛行機:20時前後初の羽田行きの2便に間に合います。
新幹線:JR高松駅に19:00位までに移動すると、高松・岡山を繋ぐマリンライナー(約1時間と新幹線(3時間)でその日のうちに東京まで帰れます。

【会場へのアクセス】

8日、9日かがわ国際会議場(高松シンボルタワー6階)JR高松駅より徒歩3分
〒760-0019 香川県高松市サンポート2-1

(引用元:https://www.symboltower.com/access/)

■10日 香川大学 林町キャンパス 創造工学部3301教室 (3号館3階)
〒761-0301 香川県高松市林町2217-20

「バスのご案内」
高松築港駅(電車乗車):8:15~瓦町(電車乗車):8:19
伏石駅(電車降車):8:26
 乗り換え
伏石駅(バス乗車):8:34
香川大学創造工学部前(バス降車):8:43
    
◆香川県大学 林町キャンパス 創造工学部までの
 アクセス詳細はこちらからダウンロードできます。
   


講演資料は、下記よりダウンロードできます。


【問い合わせ先】
MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
齋藤 哲郎          TEL:022-229-4113  
E-mail: E-mail: t-saitoh@tohoku.ac.jp