MEMSパークコンソーシアム

MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学　西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
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TEL: 022-229-4113

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公開セミナー

第20回MEMS集中講義 in 高松

東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に収集できます。20回目となる今回は香川大学と協力して高松で行いました。香川大学と東北大学は、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）において、筑波大学、豊田工業大学とともに「高度デバイス」という同一の重要技術領域に属し、MEMSなどのデバイスに関する研究開発支援を協力して推進しています。今回の集中講義はその活動の一環でもあり、初めての四国開催です。今回は3年ぶりに現地会場での開催となりました。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。
今回も多数の方々にお申込みいただき、誠にありがとうございました。

※2日目の夜に企画していた懇親会ですが、中止とさせていただきました。新型コロナウイルスの急速な感染拡大に対して、主催関係者で慎重に議論したものです。大変残念ですが、ご理解を賜りますようお願い申し上げます。

日時：

MEMS集中講義
2022年8月8日（月)～10日(水)

受付開始 8時30分　開始　9時

場所：

8日(月)・9日(火)　かがわ国際会議場(高松シンボルタワー6階）
https://www.symboltower.com/access/　
JR高松駅より徒歩3分

場所：

10日(水)　香川大学林町キャンパス創造工学部3301教室
(3号館3階)
https://www.kagawa-u.ac.jp/access/hayashi/

アクセス：

10日(水)　香川大学林町キャンパス創造工学部3301教室
(3号館3階)
https://www.kagawa-u.ac.jp/20733/

配信：

3日間すべてYouTube配信　(アーカイブ配信あり)
※配信用URLはお申込みいただいた方に、メールにてご連絡します。

参加費：

参加無料

注意事項：

現地受付で体温のチェックをしますが、体温が37.5℃を超えている場合には入室できませんのでご注意下さい。

懇親会の中止：

全国的にコロナ流行の「第７波」が本格化し、コロナ感染が厳しい状況となっております。その状況を鑑みまして、懇親会は中止とさせていただきました。

講義資料：

冊子は配布せず、こちらのページからダウンロードできるようにいたします。事前に印刷いただくか、ノートPCやタブレットをご持参ください。会場の座席にはコンセントはありませんが、テーブルタップをいくつか用意いたしますので、休憩時間中などでの充電にご利用ください。

お申込みフォーム：

お申込みはこちらから
(Googleフォームを使用しております。)

申込み一次締切：

２０２２年７月８日(金)

問い合わせ先：

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
齋藤哲郎 E-mail：ｔ-saitoh@tohoku.jp Tel. 022-229-4113

主催：

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、香川大学微細構造デバイス統合研究センター

共催：

東北大学ナノテク融合技術支援センター、東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター

参加者数：

300名

【プログラム】

【講師】（五十音順）小野崇人、金森義明　、下川房男、鈴木裕輝夫、高尾英邦、田中秀治、寺尾京平、塚本貴城、戸津健太郎、芳賀洋一、日暮栄治

【8月8日(月)】　場所：かがわ国際会議場

8:30受付開始

9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜) [戸津健太郎（東北大学）]

13:00-15:00　マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、表面マイクロマシニング、集積化、パッケージング、評価、試作環境)[戸津健太郎（東北大学)]

15:10-16:40　集積化MEMS,マイクロアクチュエータ　圧電薄膜プロセスと応用［鈴木裕輝夫(東北大学)]

16:40-17:40 香川大学研究紹介：シリコン集積化MEMS技術と触覚センシングへの展開　
[（高尾英邦(香川大学)]

【8月9日(火)】　　場所：かがわ国際会議場

8:30受付開始

9:00-10:30　家電・IT・自動車応用 [田中秀治（東北大学)]

10:40-12:00　新しいMEMSの話題　[田中秀治（東北大学)]

13:00-14:30　MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ)　[塚本貴城（東北大学)]

14：40-15：30　Beyond 5G/6Gに向けたメタマテリアル　[金森義明（東北大学)]

15:30-16:20　ＭＥＭＳ実装・パッケージング技術　[日暮栄治（東北大学)] 　

16:30-17:30 　香川大学研究紹介：微細構造デバイスによる細胞・分子マニピュレーション　[寺尾京平（香川大学)]

※企画していた懇親会ですが、中止とさせていただきます。

【8月10日(水)】　　場所：香川大学林町キャンパス創造工学部3301教室(3号館3階)

8:30受付開始

9:00-12:30 　1. 製造検査と環境・安全　2. ナノマシニング＆ナノプロセス応用（高感度センサ、熱発電・蓄電、各種スマート材料のマイクロシステム応用）［小野崇人（東北大学)]

13：:30-15:00 医療・ヘルスケア(健康管理)応用　[芳賀洋一（東北大学)]

15:10-16：:00　香川大学研究紹介：農業センサプラットフォームの実現に向けた MEMS 型維管束センサの開発　[下川房男（香川大学)]

16：00-17:00　香川大学、FROM香川(かがわ産業支援財団) 　微細加工施設見学
　　　　　　　　　※FROM香川の施設見学は遠隔モニタを利用する予定です。

～8/10終了後の交通手段について～
飛行機：２０時前後初の羽田行きの２便に間に合います。
新幹線：JR高松駅に19：00位までに移動すると、高松・岡山を繋ぐマリンライナー(約１時間と新幹線(３時間)でその日のうちに東京まで帰れます。

【会場へのアクセス】

■8日、9日かがわ国際会議場（高松シンボルタワー6階）JR高松駅より徒歩3分
〒760-0019　香川県高松市サンポート2-1

（引用元：https://www.symboltower.com/access/)

■10日　香川大学林町キャンパス創造工学部3301教室　(３号館3階)
〒761-0301　香川県高松市林町2217-20

「バスのご案内」
高松築港駅(電車乗車):8:15～瓦町(電車乗車):8:19
伏石駅(電車降車):8:26
　乗り換え
伏石駅(バス乗車):8:34
香川大学創造工学部前(バス降車):8:43
　　　　
◆香川県大学林町キャンパス創造工学部までの
　アクセス詳細はこちらからダウンロードできます。
　　　