公開セミナー
第19回MEMS集中講義 （ライブ配信）
MEMS集中講義は、MEMS技術の基礎的知識から各分野のアプリケーションへの応用展開など、様々な角度からMEMS技術に関する情報を収集できる絶好の機会となっております。今回も多数の方々にお申込みいただき、誠にありがとうございました。- 日時：
- 第19回 MEMS集中講義(ライブ配信)
令和3年8月2日（月）～8月4日(水)
- 開催方法：
-
オンライン(YouTubeライブ配信）
- アーカイブ配信：
-
来年度のMEMS集中講義まで配信しております。
- 申込みフォーム：
- https://forms.gle/HPJ8dsswUG3c8nef9
- 問合わせ先：
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東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
小林みゆき E-mai：miyuki.kobayashi.c2@tohoku.ac.jp
TEL 022-305-2351 - 主催：
- 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
- 共催：
- 東北大学 マイクロ・ナノマシニング研究教育センター、東北大学 ナノテク融合技術支援センター
- 参加者数：
- 306名(一般283名、関係者23名)
| 【 プログラム】 |
| 【8月2日(月)】 |
| 【講師】（五十音順）猪股直生、小野崇人、金森義明、Nguyen Van Toan、Joerg Froemel、田中秀治 、塚本貴城、戸田雅也、戸津健太郎、芳賀洋一、室山真徳、森山雅昭、吉田慎哉 |
| 9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング) [戸津健太郎] 13:30-15:50 マイクロマシニング2(成膜、複合プロセス、接合・パッケージング、評価) [戸津健太郎] 16:00-17:30 MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城] |
| 【8月3日（火)】 |
| 9:00-10:30 触覚センタ等ロボット応用とLSI [室山真徳] 10:40-12:10 マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、COI プロジェクト成果紹介 [吉田慎哉] 13:00-14:30 IT・通信・自動車応用（圧力センサ、マイクロフォン、BAW フィルタ、MEMS クロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治] 14:40-15:50 新しいMEMSの話題 [田中秀治] 16:00-17:00 Microsensors based on the stress impebance effect [Joerg Froemel] |
| 【8月4日(水)】 |
| 9:00-10:20 製造検査、環境センサ [小野崇人] 10:30-11:00 Thermoelectric power generator for self-powered systems [Nguyen Van Toan] 11:00-12:00 アンサンブルMEMS 磁気共鳴力顕微鏡（MRFM） [戸田雅也] 13:00-14:00 マイクロ温度センサとその応用～細胞の温度計測～ 猪股直生］ 14:00-15:30 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 ［芳賀洋一］ 15:40-16:20 Beyond 5G/6Gに向けたMEMS駆動メタマテリアルによるTHz波制御 [金森義明] 16:20-17:00 試作コインランドリ紹介 ［森山雅昭］ |
こちらから掲載可能な資料がダウンロードできます。
【問い合わせ先】
MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 西澤潤一記念研究センター内
TEL：022-305-2351 FAX：022-229-4116
E-mail: memspc@mu-sic.tohoku.ac.jp
rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp (担当：庄子）
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 西澤潤一記念研究センター内
TEL：022-305-2351 FAX：022-229-4116
E-mail: memspc@mu-sic.tohoku.ac.jp
rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp (担当：庄子）