MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学 西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-305-2351
FAX: 022-229-4116
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公開セミナー

第19回MEMS集中講義 (ライブ配信)

MEMS集中講義は、MEMS技術の基礎的知識から各分野のアプリケーションへの応用展開など、様々な角度からMEMS技術に関する情報を収集できる絶好の機会となっております。今回も多数の方々にお申込みいただき、誠にありがとうございました。
日時:
第19回 MEMS集中講義(ライブ配信)
令和3年8月2日(月)~8月4日(水)
開催方法:

オンライン(YouTubeライブ配信)

アーカイブ配信:

来年度のMEMS集中講義まで配信しております。

申込みフォーム:
https://forms.gle/HPJ8dsswUG3c8nef9
        
問合わせ先:

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 庄子 留美子 E-mail rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp
TEL 022-305-2351

主催:
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
共催:
東北大学 マイクロ・ナノマシニング研究教育センター、東北大学 ナノテク融合技術支援センター
参加者数:
290名

【 プログラム】
 【8月2日(月)】
 【講師】(五十音順)猪股直生、小野崇人、金森義明、Nguyen Van Toan、Joerg Froemel、田中秀治 、塚本貴城、戸田雅也、戸津健太郎、芳賀洋一、室山真徳、森山雅昭、吉田慎哉
9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング) [戸津健太郎]

13:30-15:50 マイクロマシニング2(成膜、複合プロセス、接合・パッケージング、評価) [戸津健太郎]

16:00-17:30 MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城]
 【8月3日(火)】
9:00-10:30  触覚センタ等ロボット応用とLSI [室山真徳]

10:40-12:10 マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、COI プロジェクト成果紹介 [吉田慎哉]  

13:00-14:30 IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAW フィルタ、MEMS クロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治]

14:40-15:50 新しいMEMSの話題 [田中秀治]

16:00-17:00 Microsensors based on the stress impebance effect [Joerg Froemel]
 【8月4日(水)】
 9:00-10:20 製造検査、環境センサ [小野崇人]

10:30-11:00 Thermoelectric power generator for self-powered systems [Nguyen Van Toan]

11:00-12:00 アンサンブルMEMS 磁気共鳴力顕微鏡(MRFM) [戸田雅也]

13:00-14:00 マイクロ温度センサとその応用~細胞の温度計測~ 猪股直生]

14:00-15:30 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一]

15:40-16:20 Beyond 5G/6Gに向けたMEMS駆動メタマテリアルによるTHz波制御 [金森義明]

16:20-17:00 試作コインランドリ紹介 [森山雅昭]

   こちらから掲載可能な資料がダウンロードできます。
 

【問い合わせ先】

MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 西澤潤一記念研究センター内
TEL:022-305-2351   FAX:022-229-4116
E-mail: memspc@mu-sic.tohoku.ac.jp    
      rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp (担当:庄子)