公開セミナー
第18回MEMS集中講義 （ライブ配信）
当初、北九州開催を予定しておりましたが、ネット（YouTubeを予定）のライブ配信に変更させていただきます。MEMS集中講義は、MEMS技術の基礎的知識から各分野のアプリケーションへの応用展開など、様々な角度からMEMS技術に関する情報を収集できる絶好の機会となっております。
参加を希望される方は、事務局の庄子 rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp までご連絡ください。準備が出来しだい、事前にアドレスをお伝えいたします。多数の皆様のご参加をお待ちしております。
- 日時：
- MEMS集中講義
令和2年8月19日（水）、8月20日（木）、8月21日（金）
19日のみ10：00開始 20日、21日は9：00開始
- 参加費：
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参加無料
- 申込み：
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東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
庄子 留美子 E-mail rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp
TEL 022-305-2351 - 主催：
- 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）、MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）
- 共催：
- 東北大学 マイクロ・ナノマシニング研究教育センター（MNC）、東北大学 ナノテク支援センター（CINTS）
| 【 プログラム】 |
| 【8月19日(水)】 |
| 【講師】（五十音順） 江刺正喜、小野崇人、桑野博喜 、田中秀治 、戸津健太郎、芳賀洋一、羽根一博 、末永智一、 |
| 10:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトファブリケーション、エッチング)[江刺正喜] 13:30-15:50 マイクロマシニング2(堆積と応用制御、接合、複合プロセスと表面マイクロシニング、集積化、パッケージングと組立、評価・MEMＳ材料と機械特性)[江刺正喜] 16:00-17:30 MEMSの要素(センサ、アクチュエータ) [江刺正喜] |
| 【8月20日（木)】 |
| 9：00-10：00 COI東北拠点の取り組み [末永智一] 10:00-11:00 医療・ヘルスケア(健康管理）応用 [芳賀洋一] 11:10-12:10 エナジーハーベスタ [桑野博喜] 15:10-16:30 情報通信応用（BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、RF MEMSスイッチ [田中秀治] 16:40-17:40 MEMSの新しい話題 [田中秀治] |
| 【8月21日（金)】 |
| 9:00-12:00 製造検査(含むナノマシニング)と環境・安全 [小野崇人] 13:30-16:30 光MEMS [羽根一博] 16:40-17:10 MEMS試作と人材育成 [戸津健太郎] |
【問い合わせ先】
MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 西澤潤一記念研究センター内
TEL：022-305-2351 FAX：022-229-4116
E-mail: memspc@mems.mech.tohoku.ac.jp
rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp (担当：庄子）
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 西澤潤一記念研究センター内
TEL：022-305-2351 FAX：022-229-4116
E-mail: memspc@mems.mech.tohoku.ac.jp
rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp (担当：庄子）