公開セミナー
第18回MEMS集中講義(ライブ配信)
MEMS集中講義は、MEMS技術の基礎的知識から各分野へのアプリケーションへの応用展開など、様々な角度からMEMS技術に関する情報を収集できる絶好の機会となっております。当初、北九州開催を予定しておりましたが、YouTubeのライブ配信に変更させていただきました。
3日間に渡り、多数の皆様にご参加いただき、誠にありがとうございました。
- 日時：
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MEMS集中講義(ライブ配信）
令和2年8月19日（水）、8月20日（木）、8月21日（金）
19日のみ10：00開始 20日、21日は9：00開始
- 参加費：
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参加無料
- 申込み：
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東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
小林みゆき E-mail miyuki.kobayashi.c2@tohoku.ac.jp
TEL 022-305-2351 - 主催：
- 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）、MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）
- 共催：
- 東北大学 マイクロ・ナノマシニング研究教育センター（MNC）、東北大学 ナノテク支援センター（CINTS）
- 参加実績：
- 298名
| 【 プログラム】 |
| 【8月19日(水)】 |
| 【講師】（五十音順） 江刺正喜、小野崇人、桑野博喜 、田中秀治 、戸津健太郎、芳賀洋一、羽根一博 、末永智一 |
| 10:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトファブリケーション、エッチング)[江刺正喜] 13:30-15:50 マイクロマシニング2(堆積と応用制御、接合、複合プロセスと表面マイクロシニング、集積化、パッケージングと組立、評価・MEMＳ材料と機械特性)[江刺正喜] 16:00-17:30 MEMSの要素(センサ、アクチュエータ、エネルギ源) [江刺正喜] |
| 【8月20日(木)】 |
| 9:00-10:00 COI東北拠点の取り組み [末永智一] 10:00-11:00 医療・ヘルスケア(健康管理）応用 [芳賀洋一] 11:10-12:10 エナジーハーベスタ [桑野博喜] 13:30-15:00 自動車・家電(圧力センサ、加速度センサ、ジャイロ、磁気センサ、マイクロフォン)[田中秀治] 15:10-16:30 情報通信応用（BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、RF MEMSスイッチ [田中秀治] 16:40-17:40 MEMSの新しい話題 [田中秀治] |
| 【8月21日(金)】 |
| 9:00-12:00 ①製造検査(含むナノマシニング)と環境・安全 ②ナノプロセスとマイクロシステム[小野崇人] 13:30-16：30 光MEMS [羽根一博] 16:40-17:10 MEMS試作と人材育成 [戸津健太郎] |
【問い合わせ先】
| MEMSパークコンソーシアム事務局 〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176 東北大学西澤潤一記念研究センター内 TEL: 022-305-2351 FAX： 022-229-4116 E-mail memspc@mems.mech.tohoku.ac.jp rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp （担当：庄子 留美子） |
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