MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学 西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-305-2351
FAX: 022-305-2352
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公開セミナー

第18回MEMS集中講義(ライブ配信)

MEMS集中講義は、MEMS技術の基礎的知識から各分野へのアプリケーションへの応用展開など、様々な角度からMEMS技術に関する情報を収集できる絶好の機会となっております。当初、北九州開催を予定しておりましたが、YouTubeのライブ配信に変更させていただきました。
3日間に渡り、多数の皆様にご参加いただき、誠にありがとうございました。

日時:

MEMS集中講義(ライブ配信)
令和2年8月19日(水)、8月20日(木)、8月21日(金)
19日のみ10:00開始 20日、21日は9:00開始

参加費:

参加無料

申込み:

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
庄子 留美子 E-mail  rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp
TEL 022-305-2351

主催:
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)、MEMSパークコンソーシアム(MEMSPC)
共催:
東北大学 マイクロ・ナノマシニング研究教育センター(MNC)、東北大学 ナノテク支援センター(CINTS)
参加実績:
     280名
【 プログラム】
 【8月19日(水)】
 【講師】(五十音順) 江刺正喜、小野崇人、桑野博喜 、田中秀治 、戸津健太郎、芳賀洋一、羽根一博 、末永智一
 10:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトファブリケーション、エッチング)[江刺正喜]

13:30-15:50 マイクロマシニング2(堆積と応用制御、接合、複合プロセスと表面マイクロシニング、集積化、パッケージングと組立、評価・MEMS材料と機械特性)[江刺正喜]

16:00-17:30 MEMSの要素(センサ、アクチュエータ、エネルギ源) [江刺正喜]
 【8月20日(木)】
9:00-10:00 COI東北拠点の取り組み [末永智一]

10:00-11:00 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一]  

11:10-12:10 エナジーハーベスタ [桑野博喜]

 13:30-15:00 自動車・家電(圧力センサ、加速度センサ、ジャイロ、磁気センサ、マイクロフォン)[田中秀治]

15:10-16:30 情報通信応用(BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、RF MEMSスイッチ [田中秀治]

16:40-17:40 MEMSの新しい話題 [田中秀治]
 【8月21日(金)】
 9:00-12:00 ①製造検査(含むナノマシニング)と環境・安全  ②ナノプロセスとマイクロシステム[小野崇人]

13:30-16:30 光MEMS [羽根一博]

16:40-17:10 MEMS試作と人材育成 [戸津健太郎]

【問い合わせ先】

 MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学西澤潤一記念研究センター内
TEL: 022-305-2351       FAX: 022-229-4116
E-mail  memspc@mems.mech.tohoku.ac.jp
     rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp  (担当:庄子 留美子)

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