MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学　西澤潤一記念研究センター内
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公開セミナー

第28回 マイクロシステム融合研究会 in 東京

日時：
2月28日（金）13:30～16:30
場所：
東北大学東京分室　会議室A
主催：
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）
MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）
講演形式：
ネットによるライブ配信 　
参加実績：
2月28日　60名　　　3月4日　224名　視聴

MEMSPC会員の方はこちらから資料をダウンロードできます。

江刺正喜(東北大学、メムス・コア)
「ミスター半導体 西澤潤一」
資料ダウンロード(15.8MB)
中尾正史（デアネヒステ、東北大学）
「西澤センターのインプリントに関するトータル技術～モールド作製から各種基板への転写まで～」
資料ダウンロード(258KB)
高橋大喜、齊藤淳志（仙台市経済局）
「次世代放射光施設にかかる仙台市の取り組み」
資料ダウンロード(2.31MB)
堀邉英夫 （大阪市立大学）
「MEMS関連のレジスト除去について―原子状水素によるSU-8レジストの除去―」
資料ダウンロード(330KB)
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