公開セミナー
第27回 マイクロシステム融合研究会
- 日時：
- 10月25日（金）14:00～17:40, 17:40～交流会
- 場所：
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東北大学「西澤記念研究センター」内
「仙台MEMSショールーム」 - 主催：
- 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）
MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC） - 問合先：
- 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
庄子留美子
Tel. 022-305-2351 Fax. 022-229-4116
e-mail. rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp - 参加：
- 無料、当日直接参加可、
交流会（1,000円 同フロアの自作LSI装置室) - アクセス：
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西澤センターアクセス(PDF)
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推奨アクセス法1：地下鉄東西線 仙台駅(13:06) → 地下鉄青葉山駅（13:15）、学内無料バス(直前に片平行あり行先注意) 青葉山駅(13:28) → 西澤センター(13:39)
推奨アクセス法2： 地下鉄東西線 仙台駅(12:36) → 地下鉄青葉山駅（12:45）、市営バス 青葉山駅(12:58) → 青葉台駅(13:03) 徒歩5分 西澤センター
なお地下鉄東西線は7分毎で仙台駅から10分かかります。必要なら車で迎えに参りますので 022-229-4113までご連絡ください。
帰り1 (交流会に参加の方)、学内バス 西澤センター(18:40) → 地下鉄青葉山駅（18:51）(乗りきれない場合は車でお送りします)、地下鉄青葉山駅（18:59） → 仙台駅(19:08) (東北新幹線仙台駅(19:30発)(19:53発))
帰り2 (交流会に参加されない方)、市営バス 徒歩5分 青葉台駅(18:17) → 地下鉄青葉山駅（18:22）、地下鉄青葉山駅（18:35） → 仙台駅(18:44) (東北新幹線仙台駅(18:57発)(19:30発))
- お願い：
- 研究会の会場には食事施設、売店等はありません。集合前に食事をお済ませください。
※午前中に「試作コインランドリ」や「近代技術史博物館」などをご覧いただけます。
その時は地下鉄青葉山駅ロータリ (9:20）→ 西澤センター（9:31）の学内バスがご利用いただけます。
- <プログラム>
- 14:00 - 17:40 マイクロシステム融合研究会
14：00-14：40 伊藤 弘昌（理化学研究所）「レーザーからテラヘルツ波研究へ」- 14：40-15：10 川北 正人（ウシオ電機）中嶌 香織（日本電子（㈱）「光学像からSEM観察、元素分析まで可能な卓上SEMの紹介」(卓上SEMの実機展示有り）
- 15：10-15：40 藤村 隆史（宇都宮大学）「プラズモニック金属ナノ構造の光熱応用」
- （休憩）
- 16：00-16：40 室田淳一（東北大学）「大規模集積化対応IV族半導体CVD原子制御プロセスの創生を目指して」
- 16：40-17：10 戸田 道夫（サエス・ゲッターズ)「ハーメチック/セミハーメチックパッケージにおけるゲッターや塗布型乾燥剤、アクティブバリア剤の効果とその応用」
- 17:10-17:40 上瀧 英郎（ハイデルベルグ・インストルメンツ）「Heidelberg Instruments 社のレーザー描画ソリューション」
- 17：40 -交流会 場所 : 同フロアの自作LSI装置室