MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学　西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-305-2351
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公開セミナー

第27回 マイクロシステム融合研究会

日時：
10月25日（金）14:00～17:40, 17:40～交流会
場所：
東北大学「西澤記念研究センター」内
「仙台MEMSショールーム」
主催：
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）
MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）
参加実績：
40名

MEMSPC会員の方はこちらから資料をダウンロードできます。

伊藤弘昌(理化学研究所)
「レーザーからテラヘルツ波研究へ」
資料ダウンロード(4.65MB)
川北正人（ウシオ電機）中嶌香織（日本電子㈱）
「光学像からＳＥＭ観察、元素分析まで可能な卓上ＳＥＭの紹介」
資料ダウンロード(3.33MB)
藤村隆史（宇都宮大学）
「プラズモニック金属ナノ構造の光熱応用」
資料ダウンロード(3.15MB)
室田淳一 （東北大学）
「大規模集積化対応IV族半導体ＣＤＶ原子制御プロセスの創生を目指して」
資料ダウンロード(2.38MB)
戸田道夫（サエス・ゲッターズ)
「ハーメチック/セミハーメチックパッケージにおけるゲッターや塗布型乾燥剤、アクティブバリア剤の効果とその応用」
資料ダウンロード(2.05MB)
上瀧英郎(ハイデルベルグ・インストルメンツ）)
「Heidelberg Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ 社のレーザー描画ソリューション」
資料ダウンロード(5.72MB)

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