MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学　西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-305-2351
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公開セミナー

MEMS集中講義 in 豊田工大

日時：
MEMS集中講義
平成30年8月2日（木）、8月3日（金）、4日（土）
9:00（初日のみ10：00開始）～17：00
交流会
平成30年8月3日（金）　17:00～18:00
見学会
平成30年8月2日～4日　昼食（30分）、研究室見学（15分）、CR見学（25分）（３グループ分割で順序入替により混雑回避）
場所：
MEMS集中講義
豊田工業大学 (名古屋市天白区久方２丁目１２−１)
南棟４階　4A教室
交流会
豊田工大食堂
主催：
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）、MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）
共催：
東北大学 マイクロ・ナノマシニング研究教育センター（MNC）、東北大学 ナノテク支援センター（CINTS）
協賛：
豊田工業大学（ナノテクノロジープラットフォーム　微細加工プラットフォーム）

こちらから資料をダウンロードできます。

江刺 正喜（東北大学）
「MEMS・マイクロマシニングの概論」
資料ダウンロード（PDF：8.3MB）
佐々木 実（豊田工業大学）
「豊田工大と、その施設およびMEMS研究の紹介」
資料ダウンロード（PDF：6.6MB）
江刺 正喜（東北大学）
「マイクロマシニング1（フォトファブリケーション、エッチング）」
資料ダウンロード（PDF：18.0MB）
江刺 正喜（東北大学）
「マイクロマシニング2（堆積、接合、複合プロセス、パッケージング）」
資料ダウンロード（PDF：29.2MB）
田中 秀治 (東北大学)
「自動車・家電（圧力，加速度，ジャイロ，磁気，マイクロフォン，マイクロミラー)」
資料ダウンロード（PDF：9.9MB）
田中 秀治 (東北大学)
「情報通信応用」
資料ダウンロード（PDF：9.0MB）
江刺 正喜（東北大学）
「MEMSの要素 (センサ、アクチュエータ)」
資料ダウンロード（PDF：11.3MB）
末永 智一 (東北大学)
「COI東北拠点 (日常人間ドック)」
資料ダウンロード（PDF：9.9MB）
戸津 健太郎 (東北大学)
「MEMS試作と人材育成」
資料ダウンロード（PDF：5.8MB）
江刺 正喜（東北大学）
「試作装置見学室他
(近代技術史博物館､仙台MEMSショールーム､ビジネスマッチング室)の展示室紹介」
資料ダウンロード（PDF：17.1MB）
小野 崇人 (東北大学)
「製造検査(含むナノマシニング)と環境・安全」
資料ダウンロード（PDF：18.8MB）
羽根 一博 (東北大学)
「光MEMS」
資料ダウンロード（PDF：10.6MB）
芳賀 洋一 (東北大学)
「医療・ヘルスケア（健康管理）応用」
資料ダウンロード（PDF：5.2MB）
桑野　博喜 (東北大学)
「エナジーハーベスタ」
資料ダウンロード（PDF：2.1MB）
田中 秀治 (東北大学)
「MEMSの新しい話題」
資料ダウンロード（PDF：8.1MB）
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