MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学　西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-305-2351
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公開セミナー

第26回 マイクロシステム融合研究会

日時：
6月28日（金）14:00～18:00, 18:00～18:30 交流会
場所：
東北大学「西澤記念研究センター」内
「仙台MEMSショールーム」
主催：
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）
MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）
参加実績：
60名

MEMSPC会員の方はこちらから資料をダウンロードできます。

田中俊一郎(東北大学)
「異種材料接合と応力・歪計測の最新事業（実演付）」
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新谷寿朗・印藤勝次・魚田敏男(日東電工)
「半導体、MEMS製造プロセスでのNitto製品のご紹介」
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 鈴木 茂 （東北大学）
「磁歪式振動発電用の材料とその応用」
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木島 健 （KRYSTAL）
「KRYSTAL社単結晶PZT薄膜成膜技術」
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皿山 正二 （サイオクス)
「研究開発から事業へのアプローチの一形態～ＧａＮ基板開発での事例～」
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森山雅昭(東北大学)
「ＲＦ-ＭＥＭＳのための気密封止技術」
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