公開セミナー
第7回 ＭＥＭＳパークコンソーシアム 公開セミナーのご案内
ドイツのフラウンホーファー研究所は、民間資金と公的資金を半分ずつで運営している研究所で、民間へ向いているため有用な研究成果をあげており ます。 MEMSを担当されておられる、IZM (Institute of Reliability and Microintegration)の Prof.Thomas Gessnerにお話をして頂きます。
- 日時：
- 2月21日(火) 10:00〜11:30
- 場所：
- SEMIジャパン 会議室
東京都千代田区九段南4-7-13 大島ビル5F
（JR総武線 市ケ谷駅より徒歩5分） - 参加費：
- 無料(事前登録は不要です。)
- 講師：
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Prof. Thomas Gessner
Professor for Microtechnology at Chemnitz University of Technology
Director of the Center for Microtechnologies Head of the FhG-IZM
Deartment Micro Devices and Equipment) - 主催：
- SEMIジャパン,MEMSパークコンソーシアム
- 内容：
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ドイツ フラウンファファ研究所のMEMS
"Concepts and examples for advanced systems integration"
Fraunhofer MEMS in Tokyo
1. Overview Fraunhofer IZM
2. Industrial developments and Tendencies
3. MEMS-Technologies
4. Packaging concepts
5. Conclusion
6. Discussion