公開セミナー
MEMS集中講義 in 東京
- 日時：
- MEMS集中講義
平成24年8月22日（水）・23日（木）・24日（金）
9:30（初日10:00）～18:00（初日18:30）
交流会
平成24年8月23日（木）18:00～20:00
見学会
平成24年8月24日（金）17:00～19:00 - 場所：
- MEMS集中講義
武田先端知ビル5階 武田ホール
交流会
武田先端知ビル5階 ホワイエ
見学会
武田先端知ビル地下2階
スーパークリーンルーム/超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点 - 主催：
- 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター、MEMSパークコンソーシアム
- 共催：
- 東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター、東北大学ナノテク支援センター
- 参加実績：
- 226名（集中講義）、45名（交流会）、50名（見学会）
- 実施風景：
- 実施案内：
- 案内はこちらです
MEMS集中講義
- 講演者：
- 江刺正喜教授（東北大）、羽根一博教授（東北大）、西澤松彦教授（東北大）、芳賀洋一教授（東北大）、田中秀治准教授（東北大）、戸津健太郎准教授（東北大）、前田龍太郎氏（産総研）、高木秀樹氏（産総研）、小林健氏（産総研）、桜井貴康教授（東京大）、神永晉氏（住友精密）
- 講義内容：
- マイクロマシニング1（概論、フォトファブリケーション、エッチング）
マイクロマシニング2（堆積、接合、複合プロセス、パッケージング他）
マイクロアクチュエータ（静電、圧電、電磁、熱他）
マイクロエネルギ源
自動車・家電関連 (圧力，加速度センサ・ジャイロ他)
情報・通信応用（光以外）
MEMS試作・少量生産サービスとクリーンルームの省エネ運用
試作コインランドリと仙台MEMSショールーム
これからのエレクトロニクスと低消費電力設計
MEMS微細加工プロセス、デバイス、システムの協業による産業創出
製造検査関連（電子線制御、分析、微量流体制他）
光MEMS
医療・バイオ応用
接合実装
圧電MEMSデバイス
MEMSPC会員に限り、「MEMS集中講義in東京」テキストおよびDVD-ROMを郵送いたします。ご希望の方はこちらより事務局までご連絡くださいませ。