MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学 西澤潤一記念研究センター内
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公開セミナー

MEMS集中講義 in 東京

日時:
MEMS集中講義
平成24年8月22日(水)・23日(木)・24日(金)
9:30(初日10:00)〜18:00(初日18:30)
交流会
平成24年8月23日(木)18:00〜20:00
見学会
平成24年8月24日(金)17:00〜19:00
場所:
MEMS集中講義
武田先端知ビル5階 武田ホール
交流会
武田先端知ビル5階 ホワイエ
見学会
武田先端知ビル地下2階
スーパークリーンルーム/超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点
主催:
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター、MEMSパークコンソーシアム
共催:
東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター、東北大学ナノテク支援センター
参加実績:
226名(集中講義)、45名(交流会)、50名(見学会)
実施風景:
MEMS集中講義 in 東京
実施案内:
案内はこちらです

MEMS集中講義

講演者:
江刺正喜教授(東北大)、羽根一博教授(東北大)、西澤松彦教授(東北大)、芳賀洋一教授(東北大)、田中秀治准教授(東北大)、戸津健太郎准教授(東北大)、前田龍太郎氏(産総研)、高木秀樹氏(産総研)、小林健氏(産総研)、桜井貴康教授(東京大)、神永晉氏(住友精密)
講義内容:
マイクロマシニング1(概論、フォトファブリケーション、エッチング)
マイクロマシニング2(堆積、接合、複合プロセス、パッケージング他)
マイクロアクチュエータ(静電、圧電、電磁、熱他)
マイクロエネルギ源
自動車・家電関連 (圧力,加速度センサ・ジャイロ他)
情報・通信応用(光以外)
MEMS試作・少量生産サービスとクリーンルームの省エネ運用
試作コインランドリと仙台MEMSショールーム
これからのエレクトロニクスと低消費電力設計
MEMS微細加工プロセス、デバイス、システムの協業による産業創出
製造検査関連(電子線制御、分析、微量流体制他)
光MEMS
医療・バイオ応用
接合実装
圧電MEMSデバイス

MEMSPC会員に限り、「MEMS集中講義in東京」テキストおよびDVD-ROMを郵送いたします。ご希望の方はこちらより事務局までご連絡くださいませ。