公開セミナー
MEMSパークコンソーシアム公開セミナー
- 日時：
- 平成24年5月28日（月） 13:30-16:00
- 場所：
- 東北大学工学研究科機械・知能系共同棟 ６階会議室
- 主催：
- MEMSパークコンソーシアム
- 概要：
- 講師2名をお招きし、下記のとおり講演会を開催しました。
1件はコロラド州立大学のコリンズ教授による低損傷プラズマに関するもので、コリンズ教授が提唱されてきた異常グロー放電を用いた方式の詳細をご紹介いただきました。今後、エッチングやCVDなどへの応用が期待されます。
もう1件は、東北大学電気通信研究所の末光教授により、単結晶Si基板上のグラフェンエピ膜とデバイス応用に関する最新の研究をご紹介いただきました。
いずれもMEMS分野での様々な機能システムに応用が期待されます。 - プログラム：
- 13:30-14:40
" Proposed Replacement of ion irradiation by electron irradiation for processing nm with less damage to underlying structures and higher selectivity"
George J. Collins, PhD
Professor: Department of Electrical and computer Engineering, Colorado State University
Fellow: IEEE, OSA, APS - 14:50-16:00
"Epitaxial grapheme on 3C-SiC/Si and grapheme electronics" MakiMicro System Integration Center(μSIC)
Maki Suemitsu, Dr.
Professor: Research Institute of Electrical Communication Tohoku University - 参加実績：
- 14名
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