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MEMSパークコンソーシアム事務局

公開セミナー

First International Symposium on Integrated Microsystems (ISIM2011)

日時：

平成23年2月9日（水）〜10日（木）

場所：

2月9日（水）
産総研つくばセンター つくば中央共用講堂　2階大会議室
2月10日（木）
つくば国際会議場（エポカル） (http://www.epochal.or.jp/floor_guide/index.html) (http://www.epochal.or.jp/access/map_shuhen.html)

主催：

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）、産総研集積マイクロシステム研究センター（UMEMUSUME）

参加費：

無料 （「ポスターセッションおよび意見交換会」は\3,000程度の会費）

問合先：

東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター　蛸島武尚
Tel.022-795-6936, Fax 022-795-6935
E-mail tako@mems.mech.tohoku.ac.jp

プログラム：

http://unit.aist.go.jp/umemsme/files/ISIM2011.htm

2月9日（水） 【ISIM2011見学会・Gデバイス国際シンポジウム（併催）】

10:30

Gデバイス国際シンポジウム（Part-�T）

12:00

昼食
ISIM2011見学会（定員制）（TIA N-MEMS関連施設：TKB812 グリーンMEMS集積化試作ライン）およびポスターセッション（Gデバイス、N-MEMS学生連携)

14:30

Gデバイス国際シンポジウム（Part-�U）

16:00

ポスターセッション（Gデバイス、N-MEMS学生連携)、およびGデバイス国際シンポジウムレセプション

19:30

閉会

2月10日（木）

午前　9:30-11:40　【プロジェクト進捗報告(東北大・産総研) 】

9:30

Introduction of the “Integrated Microsystems” project 東北大　江刺　正喜

9:40

Initial stage prototyping for the hetero integration 東北大　田中　秀治

10:00

Hands-on access to fabrication facility 東北大　戸津　健太郎

10:20

Massive parallel EB exposure systems 東北大　江刺　正喜

10:40

Introduction of the “AIST Integrated Micro System Research Center” 産総研　前田　龍太郎

11:00

Production stage prototyping for the hetero integration 産総研　小林　健

11:20

High efficiency production of integrated MEMS　産総研　高木　秀樹

11:40

Lunch and poster session （各サブテーマの詳細展示）

午後　13:00 - 16:55

【招待講演（国内・海外）：「国際分業とMEMSファウンダリ　R&D試作から量産まで」】

12:40

米国　SVTC

13:00

Imec CMORE SiGe MEMS technology platform, ベルギー　IMEC Dr. S Donnay

13:20

LETI Dr. L Malier

13:40

Smart Systems Integration by using advanced MEMS technologies, ドイツ　Fraunhofer　ENAS Prof. T. Gessner

14:00

MEMS for biological applications and energy, イタリア Trino工科大学 Prof. F. Pirri

14:20

Wafer-Level Heterogeneous Integration Techniques for MEMS and IC, スゥエーデン, Royal Institute of Technology, Prof. Goran Stemme

14:40

住友精密工業, 神永晋

15:00

休憩

15:15

MEMS production strategy of devise company and Open innovation (tentative), オムロン　Dr. Y. Sekiguchi

15:35

New age of MEMS large wafer scale production (tentative), 大日本印刷　Dr. K. Suzuki

15:55

MEMS process integration and volume production, 台湾　APM　Dr. J. Hsieh

16:15

中国　SIMIT　Prof.H.Yang

16:35

Asian collaboration on MEMS large scale production, 韓国　RFID/USN Center Dr. Choi

16:55

閉会

17:30-19:30

ポスターセッション＆意見交換会