公開セミナー
マイクロシステム融合研究会 (第2回)
- 日時：
- 9月10日（金）13:30-17:00
- 場所：
- 東北大学 工学研究科 機械系講義棟2F 機械系第３講義室 http://www.eng.tohoku.ac.jp/map/?menu=campus&area=a01&build=15 のA-02の建物
- 主催：
- 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)
産総研 集積マイクロシステム研究センター (UMEMUSUME)
MEMSパークコンソーシアム(MEMSPC) - お申込み：
- 無料、当日直接参加可
- 問合先：
- 東北大学 江刺・田中研究室 大賀理佐
Tel.022-795-6936
Fax 022-795-6935
E-mail oga@mems.mech.tohoku.ac.jp
「マイクロシステム融合研究開発拠点」と「最先端研究開発支援プログラム」を実施する組織として発足した「マイクロシステム融合研究開発センター (μSIC)」の、第2回研究会です。ご参加をお待ちしております。
なお同日午前10:40-12:00に、4/6インチ試作ラインを企業の方にお使いいただく「試作コインランドリ」のある、西澤記念研究センター(旧半導体研究所)(Tel. 022-229-4113)の見学会を計画しております。以下のようにしてお越し頂くことができます。
仙台駅のバス9番乗り場から、9:59発の青葉通・工学部経由 宮教大・青葉台行き(710系統)にお乗り頂き、終点で降りて進行方向徒歩約10分で着きます。 (バス時刻表)このバスには、東京7:56発で仙台9:37着のJR新幹線 はやて5号をご利用いただけます。なお上記問合先まで事前にご連絡頂ければ、より詳しい情報をお伝えいたします。
プログラム：
- 13:30-13:50
- 先端融合全体とセンサグループ
小野 崇人 (東北大)
- 13:50-14:10
- 光マイクロシステムの進展 [先端融合(光マイクロシステム)関係]
羽根 一博 (東北大)
- 14:10-14:30
-
超広帯域SAW共振子とそのチューナブルフィルタへの応用 [最先端(ヘテロ集積化初期試作)関係]
門田 道雄 (村田製作所)
- 14:30-14:40
- 試作コインランドリの装置紹介 [最先端(試作コインランドリ)関係]
戸津 健太郎 (東北大) - 14:40-15:00
-
産総研8インチライン整備状況 ［最先端（ヘテロ集積化量産試作)関係］
前田 龍太郎 (産総研) - 15:00-15:20
-
インプリント技術の実装応用 ［最先端（高効率集積化）関係］
高橋 正春 (産総研) - 15:20-15:40
-
大気圧走査電子顕微鏡とその応用
西山 英利 (日本電子) - 15:40-16:00
-
磁気共鳴力顕微鏡（ＭＲＦＭ）の計測技術と応用
吉成 洋祐 (日本電子) - 16:00-17:00
-
「MOSトランジスタの誕生に立ち会って」 特別講演
永田 穣 (元日立中研)