公開セミナー
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
マイクロシステム融合研究会（第1回） 開催報告
（MEMSパークコンソーシアム公開セミナー）
- 日時：
- 5月14日（金）
10:40〜12:00 見学会（西澤潤一記念研究センター）
13:30〜17:15 研究会 - 主催：
- 東北大学、MEMSパークコンソーシアム
- 会場：
- 東北大学 工学研究科 機械・知能系 第3講義室
- 講演者：
- 東北大学
マイクロシステム融合研究開発センター長 江刺 正喜東北大学大学院工学研究科
教授 湯上 浩雄東北大学大学院工学研究科
教授 桑野 博喜東北大学大学院工学研究科
教授 西澤 松彦東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
准教授 戸津 健太郎東北大学大学院工学研究科
准教授 田中 秀治(株)クレステック 開発部
主幹研究員 小島 明産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
大規模インテグレーションチーム チーム長 高木 秀樹産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
ネットワークMEMSチーム 研究員 小林 健 - 概要：
- 本年3/30に、「マイクロシステム融合開発拠点」及び「最先端研究開発支援プログラム」を実施する組織として発足した東北大学マイクロシステム融合研究開発センターにおける第1回研究会。研究プログラムである「マイクロシステム融合研究開発拠点」及び「最先端研究開発支援プログラム」の内容について、本センターのセンター長となる 東北大学 江刺 正喜 教授のほか、各研究プログラムの核となる先生方より今後の研究開発の方向性についてご講演を頂いた。
- 参加実績：
- 84名
MEMSPC会員の方はこちらから資料をダウンロードできます。
なお、高木秀樹氏及び小林健氏の講演資料につきましては、産総研集積マイクロシステム研究センターのHPに掲載されておりますので、どなたでもご覧いただくことができます。
高木秀樹氏「高効率MEMS融合製造技術−低ダメージ常温接合技術−」
資料は下記URLをクリックしてご覧ください。
http://unit.aist.go.jp/umemsme/ci/event/100514slides_takagi.pdf
小林健氏「ヘテロ集積化量産試作ー圧電MEMSデバイスの開発ー」
資料は下記URLをクリックしてご覧ください。
http://unit.aist.go.jp/umemsme/ci/event/100514slides_kobayashi.pdf