イベント情報
〜MEMS・微細加工技術による〜マイクロフォースセンサ試作実習講座受講者募集
開催概要
仙台市では、東北大学西澤潤一記念研究センター内の「試作コインランドリ」において、容量検出型マイクロフォースセンサの試作実習講座を開催いたします。
本講座では、受講者自身がクリーンルーム内の作業を通して、MEMSセンサの試作・評価までの一連の流れを体験することで、MEMSセンサ開発に必要なプロセスを体系的に習得できます。MEMS技術を活用した新製品開発を考えている方や、MEMSセンサ製造プロセスの理解を深めたい方のご参加をお待ちしています。
- 主催
- 仙台市
- 日時
- 平成27年2月5日(木)、12日(木)、19日(木)、26日(木)、3月5日(木)、12日(木) 10:00〜18:00（全6回）
- 会場
- 東北大学西澤潤一記念研究センター
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/ - 対象
- 仙台市内の企業技術者の方で、MEMS技術を活用した新製品開発を考えている方や、微細加工技術・MEMSセンサ製造プロセスの理解を深めたい方（原則として、全日程を受講可能な方に限ります）
- 費用
- 無料
- 定員
- 5名
- 実習内容
- ①フォトリソグラフィ、②DeepRIEによるシリコンエッチング、③アルミニウムスパッタリング、④アルミニウムエッチング、⑤陽極接合、⑥ダイシング、⑦ワイヤボンディング、⑧評価
- ※持ち込みの課題を試作されたい場合は、別途ご相談させていただきます。
※試作実習講座に関する詳細は、下記URLの、仙台市ホームページ「MEMS産業クラスター創成事業」ページ下部の、「MEMS人材育成事業」をご覧ください。
http://www.city.sendai.jp/keizai/sangaku/sangakutorikumi/mems.html - 留意事項
- 施設使用にあたっては、下記「東北大学試作コインランドリ使用細則」を遵守いただきますようお願いいたします。
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/attach/Rules.pdf - 申込方法
- 下記URLより参加申込書をダウンロードいただき、必要事項をご記入の上、平成27年1月28日（水）までに下記あてにE-mailまたはFAXにてお申込みください。
http://www.city.sendai.jp/keizai/sangaku/news/index.html - 申込先
- 仙台市経済局産業政策部産業振興課 担当：日諸
〒980-0803 仙台市青葉区国分町3-6-1 仙台パークビル9階
TEL：022-214-8278 FAX：022-214-8321
E-mail：kei008030@city.sendai.jp