イベント情報
「人材育成のためのMEMS集中講義 in つくば」の講義資料、動画
- 日時:
- 平成25年8月7日(水)、8日(木)、9日(金)
- 場所:
- 筑波大学 春日エリア 春日講堂
8月7日(水)
10:00-12:00 | マイクロマシニング1 (概論、フォトファブリケーション、エッチング) |
江刺 正喜 (東北大学) |
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13:15-16:20 | マイクロマシニング2 (堆積、接合、複合プロセス、パッケージング他) |
江刺 正喜 (東北大学) |
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16:30-17:10 | 接合実装 | 高木 秀樹 (産総研) |
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17:10-18:00 | 光MEMS | 羽根 一博 (東北大学) |