MEMSパークコンソーシアム事務局
東北大学 西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-305-2351
FAX: 022-305-2352
イベント情報
「MEMSデバイス試作実習講座」受講者募集のご案内
- 概要：
- 東北大学西澤潤一記念研究センター内の「試作コインランドリ」において、MEMSデバイス試作実習講座を開催いたします。
本講座では、受講者自身がクリーンルーム内の作業を通して、MEMSデバイスの設計から試作・評価までの一連の流れを体験することで、MEMSデバイス開発に必要なプロセスを体系的に習得できます。
MEMS技術を活用した新製品開発を考えている方や、MEMSデバイス製造プロセスの理解を深めたい方のご参加をお待ちしております。
- 日時：
- 平成26年1月9日（木）、16日（木）、23日（木）、30日（木）、2月6日（木）、13日（木）、20日（木）、27日（木）の13:00〜18:00
- 場所：
- 東北大学西澤潤一記念研究センター
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/
- 主催：
- 仙台市
- 対象：
- 仙台市内の企業技術者の方で、MEMS技術を活用した新製品開発を考えている方や、MEMSデバイス製造プロセスの理解を深めたい方
（原則として、全日程を受講可能な方に限ります）
- 参加費：
- 無料
- 定員：
- 5名
- 実習内容：
- ①デバイス設計、②パターン設計、③マスク作製、④洗浄とフォトリソグラフィー、⑤ICP-RIEエッチング、⑥HFエッチングと構造体リリース、⑦ワイヤボンディング、⑧評価 ※各5時間ずつ
※持ち込みの課題を試作することも可能です。実施内容の詳細については、別途ご相談させていただきます。
- 留意事項：
- 講座受講にあたっては、ノートパソコンが必要となりますので各自ご準備ください。また、施設使用にあたっては、下記「東北大学試作コインランドリ使用細則」を遵守いただきますようお願いいたします。
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/attach/Rules.pdf
- 参加申込：
- 参加申込書に必要事項をご記入いただき、平成25年12月6日（金）までに下記あてにE-mailまたはFAXにてお申込みください。
- 申込先：
- 仙台市経済局産業政策部産業振興課 担当：和田
〒980-0803 仙台市青葉区国分町3-6-1 仙台パークビル9階
TEL：022-214-8278 FAX：022-214-8321
E-mail：