MEMSパークコンソーシアム事務局

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イベント情報

第10回SEMIマイクロシステム/MEMSセミナー

開催日時:
2006年12月6日
会場 :
幕張メッセ国際会議場　2F　国際会議室
費用：
11月24日(金)まで 34,000円/ 11月25(土)以降 42,000円（消費税込）
座長：
東北大学大学院工学研究科付属
マイクロ・ナノマシンニング研究教育センター教授　江刺正喜
申込：
https://semireg.smartseminar.jp/public/application/add/35
セッション1 MEMS材料・加工・新技術
9:30 MEMSプロセス対応機能性テープ材料の提案
三井化学(株）才本芳久
9:50 MEMSプロセス材料（耐アルカリエッチング保護膜等）
日産化学工業（株）青葉和広
10:10 ウェハサポート材料
住友スリーエム（株）斉藤一太
10:30 MEMS用ガラス貫通配線基板
（株）テクニスコ 松本好博
10:50 GLV応用ダイレクトプレート出力機
大日本スクリーン製造（株）高田忠司
11:10 サファイア真空圧力センサ
（株）山武 木村重夫
11:30-12:40 昼食
セッション２ MEMSの話題
12:40 Advanced packaging
Fraunhofer Inst.IZM Thomas Gessner
13:10 MEMS oscillator replacing quartz
SiTime K.Petersen
13:40 Strategic analysis of the evolution of the MEMS industry Yole Deloppement
Jean-Christophe Eloy
14:00 振動ジャイロ搭載、世界最小のマイクロフライングロボット
セイコーエプソン（株）宮沢修
14:20 MEMSが変える日本のハイテク産業
野村證券（株） 和田木哲哉
14:40-14:50 休憩
セッション３ MEMS製造装置
14:50 Maskless Lithography Using Laser Pattern Generators
Hidelberg Instruments Mikrotechnik　 Mr. Alexznder Forozan
15:10 DMDを用いたマスクレス露光装置
（株）ナノシステムソリューションズ 木村一彦
15:30 Metal/Metal Bonding Techniques: The Case for Extreme Temperature and Pressure Uniformity
SUSS MicroTec KK Dr. Shari Farrens
15:50 Wafer bonding technology and equipment for MEMS production
EV Group Dr. Sunil Wickramanayaka
16:10 住友精密工業のMEMS加工技術最新動向　
住友精密工業（株） 田中雅彦
16:30 ＭＥＭＳ，三次元実装の量産対応ＤＲＩＥ装置　
キヤノンマーケティング（株）矢内規夫
16:50 Atomic Layer Deposition (ALD) for MEMS Application
Oxford Instruments Chris Hodson
17:10 TELのMEMSテストソリューション　
東京エレクトロン（株）八壁正巳
17:30 終了

SEMIマイクロシステム／MEMSセミナー10周年祝賀パーティ

12月の恒例となったSEMIマイクロシステム/MEMSセミナーは、本年で10回を数えます。これを記念し、10回全ての座長を務めてくださった江刺教授とともに、セミナーとMEMSの歴史を振り返る一夜を計画しました。BSAC Pisano先生、東北

大学江刺先生に興味深いお話を御願いしてあります。江刺先生設計の携帯ストラップ、縁の品々など様々な記念品をお持ち帰りいただけます。夕刻からのイベントですので、昼間は既に予定のある皆様にもご参加いただけます。多くの皆様のご参加をお待ちしております。

会場：
ホテル・ザ・マンハッタン2F ライブラリ・プリマベーラ
費用：
第10回SEMIマイクロシステム／MEMSセミナー参加者　5,000円
パーティーのみ　7,000円（消費税込）
費用には、実行委員会メンバー作成によるオリジナルMEMSチップつき 記念携帯ストラップ1個が含まれます。
お申込：
https://semireg.smartseminar.jp/public/session/view/18
特別講演：
18:15-18:45
History of MEMS Technology Development at Berkeley
U.C. Berkeley, Prof., Albert Pisano
19:40-20:00
東北大学とMEMS技術の歴史
東北大学 教授　江刺正喜
ご参加者特典：
次のおみやげがあります。
＊江刺教授設計　オリジナルMEMS携帯ストラップ
＊江刺教授　手書き論文（コピー）

さらに、抽選により、下記の賞品が当たります。。
＊江刺教授　手作り　超小型ｐH測定デバイス
＊デジタルカメラ（オリンパス様ご提供）
＊体温計（オムロン様ご提供）
＊MEMS応用　血圧計(オムロン様ご提供)

本企画には、次のMEMS　10周年記念イベント実行委員会企業の皆様の協賛をいただいております。
（株）ウシオ電機、オムロン（株）、オリンパス（株）、住友精密工業（株）、東京エレクトロン（株）、富士電機システムズ（株）、丸紅ソリューション（株）、（株）MEMSコア、（株）リコー
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