イベント情報
「MEMS集中講義」開催案内
8/23(水),24(木),25(金) の3日間、東北大学特定領域研究推進支援センター・マイクロナノマシニング研究教 育センター、SEMIジャパンと共催で「MEMS集中講義」を実施します。
- 講師：
- 江刺正喜、小野崇人、田中秀治、西澤松彦、芳賀洋一、戸津健太郎
- 日時 :
- 8/23(水),24(木),25(金) 9:30(初日10:00)-19:00
- 場所 :
- タワーホール船堀 小ホール
http://www.towerhall.jp/4access/access.html (東京 船堀) - 主催 :
- 東北大学特定領域研究推進支援センター・マイクロナノマシニング研究教育センター、MEMSパークコンソーシアム、SEMIジャパン
- 参加費、資料(印刷物、CD)代 :
- 無料
- 参加申込:
- 不要
- 連絡先 :
- 【東北大学 江刺・小野・田中研究室 佐藤】
Tel.022-795-6934, Fax 022-795-6935、E-mail s_sato@mems.mech.tohoku.ac.jp - 講義スケジュール（予定）
-
8/23
10:00-12:00
マイクロマシニング１
(概論、フォトファブリケーション、エッチング)
[江刺]
13:00-15:30
マイクロマシニング２
(堆積、接合、複合プロセス、パッケージング他)
[江刺]
15:45-18:15
ナノマシニングと微小物理
[小野]
18:30-19:00
技術相談
8/24
9:30-12:00
自動車・家電 関連
(圧力、加速度センサ・ジャイロ他) [江刺]
13:00-15:30
情報・通信 関連
(ディスプレイ、印刷、記録、光スイッチ、電子部品他)
[江刺]
15:45-18:15
製造検査・科学機器 関連
(プローバ、電子線制御、分析、微量流体制御他)
[江刺]
18:30-19:00
技術相談
8/25
9:30-12:00
医療・バイオ 関連 (カテーテル、検体検査 他)
[芳賀、西澤]
13:00-15:00
マイクロアクチュエータ
[江刺]
15:10-17:10
マイクロエネルギ源
[田中]
17:20-17:50
実用化における課題
(集積化MEMS、MEMSビジネスモデル 他)
[和賀、戸津]
18:00-19:00
技術相談