MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学 西澤潤一記念研究センター内
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イベント情報

「MEMS集中講義」開催案内

8/23(水),24(木),25(金) の3日間、東北大学特定領域研究推進支援センター・マイクロナノマシニング研究教 育センター、SEMIジャパンと共催で「MEMS集中講義」を実施します。

講師:
江刺正喜、小野崇人、田中秀治、西澤松彦、芳賀洋一、戸津健太郎
日時 :
8/23(水),24(木),25(金) 9:30(初日10:00)-19:00
場所 :
タワーホール船堀 小ホール
http://www.towerhall.jp/4access/access.html (東京 船堀)
主催 :
東北大学特定領域研究推進支援センター・マイクロナノマシニング研究教育センター、MEMSパークコンソーシアム、SEMIジャパン
参加費、資料(印刷物、CD)代 :
無料
参加申込:
不要
連絡先 :
【東北大学 江刺・小野・田中研究室 佐藤】
Tel.022-795-6934, Fax 022-795-6935、E-mail s_sato@mems.mech.tohoku.ac.jp
講義スケジュール(予定)
8/23
10:00-12:00
マイクロマシニング1
(概論、フォトファブリケーション、エッチング)
[江刺]
13:00-15:30
マイクロマシニング2
(堆積、接合、複合プロセス、パッケージング他)
[江刺]
15:45-18:15
ナノマシニングと微小物理
[小野]
18:30-19:00
技術相談

8/24
9:30-12:00
自動車・家電 関連
(圧力、加速度センサ・ジャイロ他) [江刺]
13:00-15:30
情報・通信 関連
(ディスプレイ、印刷、記録、光スイッチ、電子部品他)
[江刺]
15:45-18:15
製造検査・科学機器 関連
(プローバ、電子線制御、分析、微量流体制御他)
[江刺]
18:30-19:00
技術相談

8/25
9:30-12:00
医療・バイオ 関連 (カテーテル、検体検査 他)
[芳賀、西澤]
13:00-15:00
マイクロアクチュエータ
[江刺]
15:10-17:10
マイクロエネルギ源
[田中]
17:20-17:50
実用化における課題
(集積化MEMS、MEMSビジネスモデル 他)
[和賀、戸津]
18:00-19:00
技術相談