イベント情報
VACUUM2007
「大量生産時代のMEMSと真空技術」
MEMSは、半導体、ディスプレイに続く、次の重要な収益源と期待されてきており、真空応用技術の新しいビジネス分野として、工業会としても非常に関心の高い分野として注目しています。
真空フォーラム2007では、MEMS素子メーカー、MEMS製造装置メーカー等多方面からの講師を招き、用途拡大・量産化のための技術課題と将来性について議論するフォーラムを企画いたしました。
活発な討論が期待されますので、皆様奮ってのご参加をお待ちしております。
- 会期
- 9月13日（木） 12：30〜15：30（受付 12：00〜）
- 会場
- 東京ビッグサイト 会議棟607・608会議室
- 主催
- 日本真空工業会
- 参加費（資料代を含む、 税込み）
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日本真空工業会・日本真空協会会員 3,150円
一 般 5,250円
学 生 1,050円 - 定員
- 200名
プログラム
- ①基調講演「大量生産時代のMEMSと真空技術」
- 江刺 正喜（東北大学 教授）
- ②ＭＥＭＳデバイス
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1）講演「ＭＥＭＳ光スキャナ」
上田 譲（日本信号（株））
2）講演「ＭＥＭＳマイク」
添田 富男（ノウエルズ・エレクトロニクス・ジャパン（株））
3）講演「シリコン製ＭＥＭＳ発振器」
櫻井俊二（サイタイム（株）カントリーマネージャ） - ③ＭＥＭＳ用製造装置・ファンドリ
講演「ＭＥＭＳ用製造装置とファンドリサービス」
不破 耕（（株）アルバック）- ④パネルディスカッション