MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学 西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-305-2351
FAX: 022-305-2352
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公開セミナー

第27回 マイクロシステム融合研究会

日時:
10月25日(金)14:00~17:40, 17:40~交流会
場所:
東北大学「西澤記念研究センター」
「仙台MEMSショールーム」
主催:
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)
MEMSパークコンソーシアム(MEMSPC)
問合先:
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
庄子留美子

Tel. 022-305-2351 Fax. 022-229-4116
e-mail. rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp
参加:
無料、当日直接参加可、
交流会(1,000円 同フロアの自作LSI装置室
)
アクセス:
西澤センターアクセス(PDF)
 

推奨アクセス法1:地下鉄東西線 仙台駅(13:06) → 地下鉄青葉山駅(13:15)、学内無料バス(直前に片平行あり行先注意) 青葉山駅(13:28) → 西澤センター(13:39)

推奨アクセス法2: 地下鉄東西線 仙台駅(12:36) → 地下鉄青葉山駅(12:45)、市営バス 青葉山駅(12:58) → 青葉台駅(13:03) 徒歩5分 西澤センター

なお地下鉄東西線は7分毎で仙台駅から10分かかります。必要なら車で迎えに参りますので 022-229-4113までご連絡ください。

帰り1 (交流会に参加の方)、学内バス 西澤センター(18:40) → 地下鉄青葉山駅(18:51)(乗りきれない場合は車でお送りします)、地下鉄青葉山駅(18:59) → 仙台駅(19:08) (東北新幹線仙台駅(19:30発)(19:53発))

帰り2 (交流会に参加されない方)、市営バス 徒歩5分 青葉台駅(18:17) → 地下鉄青葉山駅(18:22)、地下鉄青葉山駅(18:35) → 仙台駅(18:44) (東北新幹線仙台駅(18:57発)(19:30発))

お願い:
研究会の会場には食事施設、売店等はありません。集合前に食事をお済ませください。

※午前中に「試作コインランドリ」や「近代技術史博物館」などをご覧いただけます。
その時は地下鉄青葉山駅ロータリ (9:20)→ 西澤センター(9:31)の学内バスがご利用いただけます。

<プログラム>
14:00 - 17:40 マイクロシステム融合研究会

14:00-14:40 伊藤 弘昌(理化学研究所)「レーザーからテラヘルツ波研究へ(仮題)」
14:40-15:10 川北 正人(ウシオ電機)「光学像からSEM観察、元素分析まで可能な卓上SEMの紹介」
15:10-15:40 藤村 隆史(宇都宮大学)「プラズモニック金属ナノ構造の光熱応用」
(休憩)
16:00-16:40 室田淳一(東北大学)「大規模集積化対応IV族半導体CVD原子制御プロセスの創生を目指して」
16:40-17:10 戸田 道夫(サエス・ゲッターズ)ハーメチック/セミハーメチックパッケージにおけるゲッターや塗布型乾燥剤、アクティブバリア剤の効果とその応用」
17:10-17:40 上瀧 英郎(ハイデルベルグ・インストルメンツ)「Heidelberg Instruments 社のレーザー描画ソリューション(仮題)」
17:40 -交流会     場所 : 同フロアの自作LSI装置室