| 企業名・所属部署 | (株)日立ハイテクノロジーズ・技術戦略部 | |
| 連絡担当者名 | 佐々木 寛 | |
| 連絡先 | 所在地 | 〒312-8504 茨城県ひたちなか市市毛882番地 |
| ＴＥＬ・ＵＲＬ | 029-275-5724・ http://www.hitachi-hitec.com/ | |
| 主な事業内容 | 半導体製造評価装置，科学機器，医用・バイオ装置等の製造・販売・サービス | |
MEMSパークコンソーシアム事務局
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